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業界最高水準毎時300枚のスループット、半導体露光装置KrFスキャナーに新オプション：FAニュース

キヤノンは、半導体露光装置KrFスキャナー「FPA-6300ES6a」のオプション「Grade10」を2022年8月上旬に発売する。露光と基板搬送時間の短縮により、300mm基板において毎時300枚という業界最高水準のスループットを達成する。

» 2022年06月28日 11時00分公開

[MONOist]

　キヤノンは2022年6月13日、半導体露光装置KrFスキャナー「FPA-6300ES6a」の新たなオプション「Grade10」を同年8月上旬に発売すると発表した。既設の装置に適用でき、装置を入れ替えることなく生産性を向上できる。

半導体露光装置KrFスキャナー「FPA-6300ES6a」（左）と稼働中の「FPA-6300ES6a」（右）［クリックで拡大］出所：キヤノン

　2012年に発売したFPA-6300ES6aは、オプションを継続的に開発することで装置のアップグレードを図ってきた。新オプションのGrade10は、300mm基板において毎時300枚という業界最高水準のスループットを達成する。200mm基板対応のFPA-6300ES6aにも、2023年に展開する予定だ。

　Grade10は、露光ステージや基板搬送系の駆動を高速化し、露光時間と基板搬送時間を短縮。また、ニューラルネットワークを用いたステージ制御システムの導入により、高速駆動で生じる振動を軽減し、高い精度を維持できる。重ね合わせ精度オプションを併用することで、高い生産性と4nmの重ね合わせ精度の両立が可能になる。

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