半導体製造装置の特許資産規模ランキング2025発表：知財ニュース

パテント・リザルトは「半導体製造装置業界 特許資産規模ランキング2025」を発表した。

[長沢正博，MONOist]

　パテント・リザルトは2025年12月5日、「半導体製造装置業界 特許資産規模ランキング2025」を発表した。1位は東京エレクトロン、2位はAPPLIED MATERIALS（米国）、3位 SCREENホールディングスとなった。

半導体製造装置業界 特許資産規模ランキング2025［クリックで拡大］出所：パテント・リザルト

　同ランキングは、2024年4月1日から2025年3月末までの1年間に登録された半導体製造装置業界の特許を対象に、個別特許の注目度を得点化する「パテントスコア」を用いた評価を行い、企業ごとに総合得点を集計した。

　1位となった東京エレクトロンの注目度の高い特許には「異常の発生からプラズマ処理空間への電力の供給を停止するまでの時間を短縮するためのプラズマ処理装置」や「第2のウエハの表面に形成されたデバイス層を第1のウエハに適切に転写することができる重合基板用の基板処理方法」に関する技術が挙げられている。

　2位のAPPLIED MATERIALSは「熱処理チャンバ内の有機化合物を管理する装置」や「薄いマスク層を有し、選択的堆積に適した低アスペクト比のマスク開口部を備える堆積マスクの製造方法」に関する技術などが注目度の高い特許として挙げられている。

　3位のSCREENホールディングスは「製品基板の搬送への影響を軽減しながら、ダミー基板を用いた処理を行える装置」や「搬送方向に搬送される印刷媒体に互いに異なる複数のインクを吐出して高品質な画像を低コストで印刷する印刷装置」に関する技術などが注目度の高い特許として挙げられている。

　4位のディスコは「加工精度に優れ、基台との高い接着力が得られるバイト工具」が、5位のLAM RESEARCHは「誘導結合プラズマを用いて、プラズマの安定制御と効率的なマッチングを実現した基板処理システム」が、注目度の高い特許として挙げられている。

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