半導体製造装置業界の特許資産規模ランキング2024を発表：知財ニュース

パテント・リザルトは、「半導体製造装置業界　特許資産規模ランキング2024」を発表した。1位が東京エレクトロン、2位がApplied Materials、3位がディスコとなっている。

[MONOist]

　パテント・リザルトは2024年12月11日、「半導体製造装置業界　特許資産規模ランキング2024」を発表した。結果は、1位が東京エレクトロン、2位がApplied Materials、3位がディスコとなった。

　同ランキングは、同社が独自に分類した半導体製造装置メーカーを対象に、各社が保有する特許資産を総合的に評価したものだ。2023年4月1日〜2024年3月末に登録された特許が対象となる。個別特許の注目度をスコア化した「パテントスコア」を用いている。

　1位の東京エレクトロンは、「安定して電極へ給電可能な基板支持体用の給電機構」や、大阪大学と共同で保有している「光増感効果を利用したリソグラフィプロセス用の光増感化学増幅レジストシミュレーション」に関する特許の注目度が高いとした。

　2位のApplied Materialsは、「基板の温度と処理ガスの均一性を改善するための化学気相堆積（CVD）装置」や「顕微鏡で拡大した組織サンプルの関心領域を効率的に取得、格納できる組織サンプル分析用の画像化システム」に関する特許の注目度が高いとしている。

　3位のディスコに関しては、「表裏面から容易に観察できる被検査物の検査装置」や「外周面取り部の欠けやクラックを防止する半導体ウエハーの加工方法」などの注目度を評価した。

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