一辺が1200mm超の大型柱状晶シリコンの製造技術を確立：FAニュース

三菱マテリアルは、角型の一辺が1200mm以上となる大型柱状晶シリコンの製造技術を確立した。同技術により、高純度かつ加工性に優れた大型柱状晶シリコンの安定的な製造に成功した。

[MONOist]

　三菱マテリアルは2017年1月25日、子会社の三菱マテリアル電子化成と共同で、角型の一辺が1200mm以上となる大型柱状晶シリコンの製造技術を確立したことを発表した。プラズマエッチング装置用部材や均熱板、CVD装置用サセプタ、スパッタリングターゲット材料、赤外線レンズなどでの用途を見込む。

　今回同社では、これまで培ってきた高度な精密鋳造技術を活用し、柱状晶シリコンの高純度化と内部応力を低減する製造技術を確立した。シリコンは材質がもろく、凝固中に膨張するため、大型になると割れやすいという問題があったが、同技術により大型の柱状晶シリコンの安定的な製造に成功した。

　柱状晶シリコンは現在、半導体装置のウエハー周辺の部材から、従来は他素材を利用していた大型部材まで使用範囲が拡大している。また、フラットパネルディスプレイの分野でも、基板の熱処理工程で使用する均熱板として柱状晶シリコンが使用されており、ディスプレイの大型化に伴って同シリコンの大型化が求められていた。

　同社では、高純度かつ加工性に優れた大型柱状晶シリコンを可能にしたことで、さまざまな製品分野で利用が拡大するとみている。

世界最大級の柱状晶シリコン