　C15477は、受光面積の大きい光電子増倍管を用いるとともに、ノイズを低減させる信号処理手法を採用。1台で大面積の板状ワークの直径1μmまでの穴欠陥を高速に検出できる。光源ユニットから光を照射し、ワークの穴欠陥を通過した光を集光ユニットで効率的に集め、C15477によって信号として検出してワークの微小な穴欠陥の有無を判別する。

左：検査の仕組み、右：検査ユニット一式（クリックで拡大）出典：浜松ホトニクス

　増幅回路により信号量を増幅させる一方で、ロックインアンプを採用したことで信号量を増幅し、ノイズを低減した。これにより、最小検出面積比で従来の約4分の1となる直径1μmまでの板状ワークの穴欠陥を検出できる。燃料電池自動車向けの燃料電池のセパレーターやパウチ型二次電池のアルミラミネート外装、薄板のプレス加工品などの検査精度の向上が期待される。

　また、受光面積の大きい光電子増倍管を採用し、これまで4台の検査ユニットで検査していた480×180mmの板状ワークを1台で検査可能になった。

　光源ユニットは、LEDモジュールの組み合わせを変更することで、ワークのサイズに応じて発光面積を調整可能。また、光量をモニタリングするための光検出器の組み込みにより、LEDの劣化を把握できるためメンテナンス性が向上した。

　C15477は、光源、集光ユニットとともに検査ユニットとして国内外の自動車関連メーカーなどに販売。今後は、より微小な穴欠陥を検出できる検査ユニットの開発を進めていく。

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