半導体製造装置メーカー向け熱制御機器の製造に特化した新棟が長野で稼働開始工場ニュース

日本電熱は、長野県の安曇野本社工場内に、半導体製造装置メーカー向け熱制御機器の製造に特化した新棟を建設し、稼働を開始した。生産能力を現行比で1.5倍に拡大している。

» 2023年03月28日 11時00分 公開
[MONOist]

 エア・ウォーターは2023年3月7日、グループ会社の日本電熱が長野県の安曇野本社工場内に、半導体製造装置メーカー向け熱制御機器の製造に特化した新棟を建設し、稼働を開始したと発表した。生産能力を現行比で1.5倍に拡大し、エレクトロニクス関連事業の拡大を図る。

キャプション 新棟工場[クリックで拡大] 出所:エア・ウォーター

 新棟は鉄骨造2階建てで、延床面積は6260m2、建築面積は3700m2。約35億円(生産設備を含む)を投資して建設した。半導体向けホットプレート、半導体向けヒーターを製造する。

キャプション 生産する製品。(左)半導体向けホットプレート、(右)半導体向けヒーター[クリックで拡大] 出所:エア・ウォーター

 日本電熱は、工業用の電熱制御機器で国内トップシェアを占めており、半導体製造装置メーカーに、ウエハーを均一に加熱する熱板(ホットプレート)や冷却用のクーリングプレートなど、半導体の製造工程に欠かせない熱制御機器を供給している。

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