半導体製造装置メーカー向け熱制御機器の製造に特化した新棟が長野で稼働開始：工場ニュース

日本電熱は、長野県の安曇野本社工場内に、半導体製造装置メーカー向け熱制御機器の製造に特化した新棟を建設し、稼働を開始した。生産能力を現行比で1.5倍に拡大している。

» 2023年03月28日 11時00分公開

[MONOist]

　エア・ウォーターは2023年3月7日、グループ会社の日本電熱が長野県の安曇野本社工場内に、半導体製造装置メーカー向け熱制御機器の製造に特化した新棟を建設し、稼働を開始したと発表した。生産能力を現行比で1.5倍に拡大し、エレクトロニクス関連事業の拡大を図る。

新棟工場［クリックで拡大］出所：エア・ウォーター

　新棟は鉄骨造2階建てで、延床面積は6260m²、建築面積は3700m²。約35億円（生産設備を含む）を投資して建設した。半導体向けホットプレート、半導体向けヒーターを製造する。

生産する製品。（左）半導体向けホットプレート、（右）半導体向けヒーター［クリックで拡大］出所：エア・ウォーター

　日本電熱は、工業用の電熱制御機器で国内トップシェアを占めており、半導体製造装置メーカーに、ウエハーを均一に加熱する熱板（ホットプレート）や冷却用のクーリングプレートなど、半導体の製造工程に欠かせない熱制御機器を供給している。

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