半導体製造プロセスの歩留まりを改善、新設計の四重極形質量分析計：FAニュース

堀場製作所と堀場エステックは、四重極形質量分析計「MICROPOLE system QL」シリーズとウエハー裏面圧力制御システム「GR-500」を2023年1月に発売する。半導体製造プロセスの歩留まりの改善や、生産性を向上する。

[MONOist]

　堀場製作所と堀場エステックは2022年12月7日、四重極形質量分析計「MICROPOLE system QL」シリーズとウエハー裏面圧力制御システム「GR-500」を2023年1月に発売すると発表した。半導体製造プロセスの歩留まりの改善や、生産性を向上する。

　「MICROPOLE system」シリーズは、チャンバー内のガス成分を計測し、真空環境を監視する残留ガス分析計だ。QLシリーズは、新たに設計した計測、制御部と、四重極センサー部から構成。スキャン速度の向上とセンサー間のバラつきを低減している。

四重極形質量分析計「MICROPOLE system QL」シリーズ 出所：堀場製作所

　制御、計測部が全長150mm、四重極センサー部が全長35〜50mmと、コンパクトなボディーとなっている。差動排気なしで10^-1Pa以上の中真空領域でも計測できる。

　走査速度は計測環境に合わせて設定可能で、従来機に比べて2倍に向上した。交換時のセンサー間の感度バラつきは従来機の約半分に低減。また、RS485通信に加え、任意のアナログ入出力機能を付加した。

　GR-500は、チャンバー内でウエハーの温度制御に用いるガスを高精度に圧力制御する。従来品の100Torrに加え、10、20、50Torrの制御レンジを追加。使用する圧力に適した幅広いレンジで、より正確にウエハー裏面の微小な圧力制御ができる。サイズは169.2×34×139mmだ。

ウエハー裏面圧力制御システム「GR-500」 出所：堀場製作所

　高速、高分解能ピエゾバルブと自社開発の圧力センサーを採用し、フルスケール圧力に対し、±0.1％の高精度な圧力制御ができる。流量センサーを搭載しており、伝熱性ガスの流量を正確に監視できる。

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