プラズマダイシング工法向けレーザーパターニング装置の受注開始 : FAニュース
パナソニック スマートファクトリーソリューションズと東京精密は、共同開発したレーザーパターニング装置「AL300P」の受注を開始した。シリコンウエハーからダメージなしでチップを切り出せる、プラズマダイシング工法向けの装置だ。
パナソニック スマートファクトリーソリューションズ(PSFS)は2018年3月12日、東京精密と共同開発したプラズマダイシング工法向けレーザーパターニング装置「AL300P」の受注を開始した。
東京精密製「AL300P」 出典:パナソニック スマートファクトリーソリューションズ
AL300Pは、PSFS製プラズマダイシング装置(APX300)専用のレーザーパターニング装置だ。シリコンウエハーからダメージなしでチップを切り出せる、プラズマダイシング工法向けに開発された。
UVレーザー加工により、レジストなどのマスク層が貼り付けられたシリコンウエハーをダイシング位置に所定の幅で高精度にパターニングする。デバイス構造によっては、最小15μm幅でレーザーパターニングが可能だ。
レーザービームは、プラズマダイシングに最も適した形状を採用。また、装置サイズは幅1180×奥行き1800×高さ1800mm(コーターオプション除く)で、設置面積を抑えることができる。
PSFSは、AL300Pを大阪府門真市にあるプラズマダイシング実証センターに導入。同社製のプラズマダイサーAPX300(DMオプション)と組み合わせて実証できる体制を構築している。
出典:パナソニック スマートファクトリーソリューションズ
IoTデバイスに最適なプラズマダイシング、パナソニックが実証センターを開設
パナソニック ファクトリーソリューションズ(PFSC)は、次世代のダイシング技術「プラズマダイシング」の普及を促進するため、同社本社敷地内(大阪府門真市)に「プラズマダイシング実証センター」を開設した。需要拡大が見込まれるIoT(モノのインターネット)向けデバイスの製造に最適だという。
プラズマダイシングの前工程装置、パナソニックと東京精密が共同開発
パナソニックファクトリーソリューションズと東京精密は、プラズマダイシングの前工程で使用するレーザーグルービング装置を共同開発する。共同開発した装置とプラズマダイシング装置の販売面でも連携する計画だ。
半導体露光機で日系メーカーはなぜASMLに敗れたのか
法政大学イノベーション・マネジメント研究センターのシンポジウム「海外のジャイアントに学ぶビジネス・エコシステム」では、日本における電子半導体産業の未来を考えるシンポジウム「海外のジャイアントに学ぶビジネス・エコシステム」を開催。半導体露光機業界で日系企業がオランダのASMLに敗れた背景や理由について解説した。
スマートファクトリーはエッジリッチが鮮明化、カギは「意味あるデータ」
2017年はスマートファクトリー化への取り組みが大きく加速し、実導入レベルでの動きが大きく広がった1年となった。現実的な運用と成果を考えた際にあらためて注目されたのが「エッジリッチ」「エッジヘビー」の重要性である。2018年はAIを含めたエッジ領域の強化がさらに進む見込みだ。
スマートファクトリーがいよいよ現実解へ、期待される「見える化」の先
ドイツのインダストリー4.0がきっかけとなり関心が高まった、IoTを活用したスマートファクトリー化への動きだが、2017年は現実的成果が期待される1年となりそうだ。既に多くの実証成果が発表されているが、2017年は、実導入ベースでの成功事例が生まれることが期待される。
72台の装置を半日で稼働、日本発「ミニマルファブ」が変える革新型モノづくり
産総研コンソーシアム ファブシステム研究会などは「SEMICON Japan 2016」で、「ミニマルファブの開発成果を発表。同研究会などが推進するミニマル生産方式による製造装置「ミニマルシリーズ」72台を設置し、半導体製造工程のほとんどをカバーできるようになった成果をアピールした。
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.