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天文衛星クリズムが画像を初公開 高温プラズマをX線で撮影 銀河の形成解明へ
宇宙航空研究開発機構は、昨年9月に打ち上げられ、機器や装置の性能確認を兼ねた初期段階の運用を行っているX線天文衛星「クリズム」が撮影した銀河団や、超新星爆発の残骸の画像を初公開した。(2024/1/9)

FAニュース:
宮城に半導体製造装置向けプラズマ電源の修理拠点、従来比3倍規模でサポート拡充
トルンプは宮城県仙台市に「宮城テクニカルセンター・仙台オフィス」を開設した。(2023/12/15)

FAニュース:
トルンプがエレクトロニクス事業を拡大へ、5年間で板金加工機事業と同規模に
板金加工機大手のトルンプは、半導体製造装置向けプラズマ電源や産業用加熱ソリューションを手掛けるエレクトロニクス事業の国内展開に注力する。5年後の2028年には、国内において板金加工機事業と同等の売上高まで拡大させる方針だ。(2023/10/30)

注目デバイスで組み込み開発をアップグレード(17):
LEDの光にはもう飽きた、放電プラズマが見たい
注目デバイスの活用で組み込み開発の幅を広げることが狙いの本連載。第17回は、フライバックトランスを使って人工的に放電プラズマを起こす回路を紹介する。(2023/9/28)

人工知能ニュース:
核融合炉心プラズマの制御にエンドポイントAIを活用、応答速度1ms以下に対応
制御AI技術を研究開発するエイシングは、核融合技術の進展のため、核融合科学研究所との共同研究を開始した。プラズマの制御技術を確立し、安定した核融合技術の実現を目指す。(2023/8/9)

脱炭素:
デンカが低炭素アセチレン製造技術に関する共同研究と実証設備導入の契約を締結
デンカとTransform Materialsは、低炭素アセチレン製造技術に関する共同研究と実証設備導入の契約を締結した。マイクロ波プラズマを活用するアセチレン製造設備の導入により、主力製品のCO2排出量削減を目指す。(2023/6/1)

製造マネジメント インタビュー:
「車載用電池はPDPの二の舞とはならない」パナソニックHD楠見氏が語る2年間
パナソニック ホールディングス グループCEOの楠見雄規氏は報道陣の合同インタビューに応じ、就任後2年間の手応えについて語るとともに「成長へのギアチェンジ」とする中で今後の方向性について説明した。本稿では「2年間の振り返り」「車載用電池」「環境への取り組み」についての質疑応答の内容を紹介する。(2023/5/25)

プリンストン、オートフォーカス機能を標準搭載したUSB書画カメラ「PDP-U12MS」
プリンストンは、USB有線接続に対応した書画カメラ「PDP-U12MS」を発売する。(2023/5/23)

FAニュース:
半導体後工程の生産性向上、パナソニックがプラズマクリーナーの汚れをスコア化
パナソニック コネクトは同社のプラズマクリーナー「PSX307」の設備状態をスコア化し、最適時期でのメンテナンスを支援するアプリケーション「PSX307-HSA」の開発を発表、同社のプライベート展示会「Factory Solution Conference 2023」において受注を開始した。(2023/2/21)

EUV露光の高出力化を可能に:
北海道大ら、光源プラズマの複雑な流れを初観測
北海道大学は、半導体露光用EUV光源を構成する「プラズマの複雑な流れ」を観測することに成功した。プラズマの流れを制御すれば、EUV光源の高出力化が可能になるという。(2023/2/8)

最新の半導体製造工程に適用可能:
高磁場のみで金属プラズマを発生、安定に維持
豊橋技術科学大学と東北大学の研究グループは、マイクロ波共振器で形成される高磁場のみで金属プラズマを発生させ、安定に維持できることを発見した。今回の研究成果は、最新の半導体製造プロセスにも適用できる可能性があるという。(2023/2/7)

原子層エッチング技術を実用化:
名古屋大ら、三元金属炭化物の微細加工に成功
名古屋大学は、日立製作所や日立ハイテクとの共同研究により、蒸気プラズマによる三元金属炭化物(TiAlC)のドライエッチングに成功した。(2022/12/21)

乾式で撥水と親水の反復効果を実現:
魁半導体、フリップフロップコーターを開発
魁半導体は、撥水性と親水性を示す薄膜をドライプロセス(乾式)で生成することができる、真空プラズマ装置「フリップフロップコーターFFC-400M」を開発した。2023年に竣工予定の新工場で、同成膜の受託事業を始める予定。(2022/3/29)

Wired, Weird:
SNSで依頼されたプラズマTV修理のリモート支援
見ず知らずの方からSNS経由でメーカーサポートが終了したプラズマテレビの修理支援を求められた。どうも不具合現象から電源不良のようだったので、引き受けることにした。(2022/3/9)

Wired, Weird:
プラズマカッターの修理(後編) ―― 緑青を取ったら紫のプラズマが発生!
今回は、火花が出なくなったプラズマカッターの修理の続きだ。前回、プラズマカッターの基板を点検しながら不具合箇所を目視で確認したが見つからなかった。通電して消費電力や整流電圧も確認したが問題点は見つからなかった。そのため、プラズマスイッチをオンにして、AC200V電源を通電して放電させるしか手がなくなった――。(2022/2/17)

医療機器ニュース:
接着剤なしの超柔軟導電接合法を開発、柔軟なウェアラブルデバイスに期待
理化学研究所は、水蒸気プラズマを利用して、接着剤を使用せずに高分子フィルム上で成膜した金同士を電気的に接続する技術「水蒸気プラズマ接合」を開発した。同技術で接合した各基板上の金電極は、境界線が消失し、強固に直接接合する。(2022/1/20)

Wired, Weird:
火花が出なくなったプラズマカッターの修理(前編)
今回は、プラズマカッターの修理を報告する。高電圧で危険な機器だが、高電圧機器の試作品を設計、製造したことがあるので、引き受けた。(2022/1/13)

越智岳人の注目スタートアップ(1):
大企業も注目のプラズマ技術で家庭用美顔器を開発、美容スタートアップの挑戦
数多くのハードウェアスタートアップやメイカースペース事業者などを取材してきた越智岳人氏が、今注目のスタートアップを紹介する連載。今回は、小型の家庭用プラズマ美顔器「Un」を開発し、既存の美容機器市場に一石を投じ、価格破壊を起こすDENSHINDO(傳心堂)の開発ストーリーを取り上げる。(2021/11/29)

FAニュース:
高速外面コーティングと細穴内面成膜に対応するDLCコーティング装置を発売
不二越は、マイクロ波を利用したコーティング技術であるMVP法を採用した、DLCコーティング装置「SMVP-1020」を発売した。高密度プラズマによるDLC膜の高速外面コーティングが可能で、細穴内面の成膜にも対応する。(2021/11/22)

産業動向:
水耕栽培の培養液向けにプラズマ殺菌技術を確立、西松建設と東北大学
西松建設は、東北大学との共同研究で、施設園芸や植物工場の水耕栽培で使用される培養液の衛生管理方法として、プラズマにより培養液中に存在する微生物(かび)の増殖を抑制する殺菌技術を開発した。今後は、今回の技術を生かして、植物工場の水耕栽培における安定生産と生産性向上に役立つ技術開発を推進する。(2021/9/9)

加熱で最大2倍の処理効果を実現:
魁半導体、加熱機構搭載の真空プラズマ装置を発売
魁半導体は、真空プラズマ装置「プラズマエッチャーCPEシリーズ」として、新たにステージ加熱機構を搭載した「CPE-200AHM」の販売を始めた。加熱しない場合に比べて最大2倍の処理効果が得られるという。(2021/9/6)

医療機器ニュース:
プラズマによる排ガス処理からオゾン除菌装置を開発、ダイハツと日本特殊陶業
ダイハツ工業は2021年8月30日、オゾンを利用した除菌装置「MIRACLE BUSTER」を開発し、福岡県久留米市の施設に導入したと発表した。日本特殊陶業と共同開発した。ダイハツは2021年3月にも紫外線による除菌装置を発表、全国の販売店に無償貸与している。(2021/8/31)

組み込み開発ニュース:
真空装置内で動くセンサーを開発、プラズマ発光の直接検出と無線送信に成功
魁半導体は、滋賀県立大学と共同開発した、真空プラズマ装置内で動作するIoTセンサーを用いて、プラズマ発光状況を直接検出し、無線通信で外部送信することに成功した。プラズマ制御の精度向上が見込まれる。(2021/6/23)

シランガスも窒素ガス希釈が不要:
排ガス除害装置を開発、危険ガスを効率よく無害化
科学技術振興機構(JST)は、東京大学大学院工学系研究科の一木隆範教授が行った研究を基に、カンケンテクノが受託開発した「減圧プラズマによる高効率除害装置」について、その成果を認定した。開発した排ガス除害装置を用いると、ICなどを製造する工程で用いられるさまざまな危険ガスを効率よく無害化できるという。(2021/4/1)

FAインタビュー:
デジタル出力非対応の旧型半導体製造装置、京セミが取り組んだIoT化の道のり
京都セミコンダクターはIoT化プロジェクト「スマートFAB」を推進中だ。同社はRaspberry Piなどの各種センサーを用いて、25年以上前から使用を続けるプラズマCVD装置などをIoT化した。これにより各種装置の稼働状況やクリーンルームの環境情報に基づいた早期の異常検知を実現している。(2021/3/4)

スマート工場最前線:
25年以上前の旧式半導体製造装置をIoT化、「5年で約15億円」の効果を期待
京都セミコンダクターは2020年12月10日、半導体の薄膜形成に必要なプラズマCVD装置などをIoT化する「スマートFAB」の取り組みを同年12月4日から開始した。同装置は25年以上前から使用している機器で、IoT化によって稼働状況を監視することなどで延命化し、装置買い替えのコストなどを削減する。(2020/12/18)

海外YouTuberが“ほぼ本物”のライトセーバーを本気で作成 スイッチONで4000度のプラズマが光の刃を形成
ガチで危険でかっこいいライトセーバー!(2020/10/11)

FAニュース:
出力500Aで中厚板鋼板を高速切断する、高性能プラズマ切断機ツイスター
コマツ産機は、高性能プラズマ切断機ツイスター「TFPL10-6」「TFPL08-6」の販売を開始した。出力500Aハイパワープラズマで50mmの中厚板鋼板を高速切断し、電極とノズル一体型のカートリッジ消耗品が、段取り時間を大幅に短縮する。(2020/9/23)

医療技術ニュース:
大気圧プラズマを感知する生体分子の実体を解明
東北大学は、大気圧プラズマを感知する生体分子の実体が、イオンチャネルタンパク質「TRPA1」「TRPV1」であることを明らかにした。これらは大気圧プラズマによって活性化され、細胞内カルシウム濃度上昇を引き起こすことが分かった。(2020/7/2)

FAニュース:
パワーと切断速度、操作性を向上した高性能プラズマ切断機ツイスター
コマツ産機は、高性能プラズマ切断機ツイスター「TFP510-3」の販売を開始した。従来機と比較し、電源容量が150Aから200A、切断速度が1800mm/minから2200mm/minに向上している。(2020/6/2)

プラズマ火球、発射ニャ! 人類のイタズラで大いなる技を身につけたネコ様の写真が楽しい
差分画像を作ってスマホの壁紙にしたい。(2020/5/10)

固形フッ素樹脂使用で実現:
温室効果ガス不要の新プラズマ処理技術を実用化
京都工芸繊維大学発のベンチャーである魁(さきがけ)半導体は2020年4月7日、PFC(パーフルオロカーボン)ガスの代わりに固形フッ素樹脂を使用しプラズマ処理を実現する新技術の実用化に成功した、と発表した。半導体のプラズマエッチングなどの処理において、温室効果ガスを使わず同等の効果を得ることができるといい、環境負荷/現場負担の軽減を実現するとしている。(2020/4/9)

パナソニックが考える「2020以降の街づくり」:
独自開発の「真空断熱ガラス」が欧州で高評価なのはなぜか?事業撤退したPDPメンバーのリベンジ
パナソニックでプラズマディスプレイパネル(PDP)の研究に携わっていたメンバーが、PDPで培った技術を生かし、全世界で1兆円規模にも上る断熱ガラス市場で戦える「真空断熱ガラス」を開発した。(2020/3/13)

スマートファクトリー:
半導体製造中間工程の立ち上げ期間を半分以下に、パナソニックが日本IBMと協業で
パナソニックスマートファクトリーソリューションズと日本IBMは2019年10月15日、半導体製造分野において協業することを発表した。パナソニックの推進する新たな製造プロセス「プラズマダイシング」を、日本IBMがITソリューションでサポートし、立ち上げ作業の負荷を軽減する。(2019/10/16)

後工程装置の価値を高めるソフトを開発:
パナと日本IBMが半導体製造装置分野で協業
パナソニックと日本IBMが、半導体製造装置分野で協業する。パナソニックが製造、販売するプラズマダイサーなどの半導体後工程製造装置の価値を高めるソフトウェアなどをパナソニックと日本IBMで共同開発し、パナソニックが製造装置ともに提供する。(2019/10/16)

イノベーションのレシピ:
キリンの新規事業は乳酸菌で「医と食をつなぐ」、20億円投資して新工場も建設
キリンホールディングス(キリン)が、「プラズマ乳酸菌」を使用した食品や飲料を展開するブランド「iMUSE」を中核とするヘルスサイエンス事業の戦略について説明。同事業の売上高は2018年に55億円を達成しており、今後は2021年に約2.7倍の150億円、2027年に4倍超となる230億円を目指す。(2019/4/25)

マイクロ波プラズマCVD法で:
産総研、大面積ダイヤモンドウエハー実現可能に
産業技術総合研究所(産総研)は、マイクロ波プラズマCVD法を用い、クラックがない体積1cm△△3△△級の単結晶ダイヤモンド作製に成功した。インチサイズのウエハー実現に大きく近づいた。(2019/3/26)

electronica 2018:
停電時でも医療機器を消毒できる、TDKのプラズマ発生素子
TDKはドイツ・ミュンヘンで開催された「electronica 2018」(2018年11月13〜16日)で、開発中の技術を含め、車載向けや産業向けの製品を展示した。(2018/11/21)

湯之上隆のナノフォーカス(4) ドライエッチング技術のイノベーション史(4):
チャージングダメージの障壁を乗り越えた日米の情熱
1980年代初旬、プラズマを用いたエッチング技術は、チャージングダメージという大きな壁に直面した。だが、日米によるすさまじい研究の結果、2000年までにほぼ全ての問題が解決された。本稿では、問題解決までの足跡をたどる。(2018/10/24)

FAニュース:
プラズマダイシング工法向けレーザーパターニング装置の受注開始
パナソニック スマートファクトリーソリューションズと東京精密は、共同開発したレーザーパターニング装置「AL300P」の受注を開始した。シリコンウエハーからダメージなしでチップを切り出せる、プラズマダイシング工法向けの装置だ。(2018/3/30)

省エネビル:
プラズマディスプレイ技術を応用した断熱ガラス、パナソニックが開発
パナソニックは、プラズマディスプレイのパネル技術を応用することで、約6mmの薄さで約3cmのトリプルガラスと同等以上の断熱性能を持つ真空断熱ガラスの開発と量産化に成功したと発表した。(2017/12/7)

パナソニック、真空断熱ガラス開発 PDP技術応用
パナソニックは、PDPの開発・製造技術を応用し、薄型の真空断熱ガラスの開発・量産化に成功した。(2017/12/6)

低温プラズマ焼結法を改良:
銅インクで実現、ラジオ機能付き野球帽
産業技術総合研究所は、フィルム基板上に銅を焼結する技術である低温プラズマ焼結法を改良し、スクリーン印刷でフレキシブル銅配線板を作成する技術を開発した。また、同技術を応用することで、野球帽のツバに組み込み可能なフレキシブルなラジオを試作した。(2017/6/7)

蓄電・発電機器:
純度99.999%の水素をアンモニアから、低コストな新製造方式を確立
岐阜大学と澤藤電機はアンモニアから高純度の水素を製造できるシステムを開発した。プラズマを利用して製造するのが特徴で、貴金属を利用する必要がなく、低コストな水素製造が可能だという。水素エネルギーの普及課題の1つが「貯留や輸送の低コスト化」だ。この課題の解決策として注目されている「アンモニアの水素キャリアとしての利用」を実現するシステムとして、期待が掛かる。(2017/4/3)

FAニュース:
プラズマダイシングの前工程装置、パナソニックと東京精密が共同開発
パナソニックファクトリーソリューションズと東京精密は、プラズマダイシングの前工程で使用するレーザーグルービング装置を共同開発する。共同開発した装置とプラズマダイシング装置の販売面でも連携する計画だ。(2017/2/20)

変色度合いから視覚的に判別:
ウエハー型のプラズマ評価 耐熱性も400℃に向上
サクラクレパスは2016年12月12日、プラズマの処理効果を可視化する評価ツールとして、ウエハー型の製品を発表した。半導体製造装置稼働率の向上、装置間の機差解消に貢献する。(2016/12/13)

医療技術ニュース:
ヒトに使えるプラズマ活性点滴を用いた新たな化学療法を開発
名古屋大学は、ヒトに使えるプラズマ照射点滴(プラズマ活性点滴)を作製し、これを用いてグリオブラストーマ(脳腫瘍)や卵巣がんの新たな治療法を開発した。(2016/11/22)

パナソニックプラズマディスプレイ解散 負債5000億円、製造業で過去最大
パナソニックのプラズマディスプレイ生産子会社が解散へ。負債総額5000億円は製造業で過去最大という。(2016/11/1)

製造マネジメントニュース:
つわものどもが夢のあと、パナソニックがプラズマディスプレイ子会社を清算
パナソニックはプラズマディスプレイの生産、開発、販売などを行っていた連結子会社 パナソニック プラズマディスプレイを解散し、特別清算の申し立てを行うことを発表した。負債総額は5000億円にのぼる。(2016/10/31)

パナソニックプラズマディスプレイが倒産 負債5000億円 「ビエラ」ブランドのテレビ製造
「製造業で過去最大の倒産」としている。(2016/10/31)


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にわかに地球規模のトピックとなった新型コロナウイルス。健康被害も心配だが、全国規模での臨時休校、マスクやトイレットペーパーの品薄など市民の日常生活への影響も大きくなっている。これに対し企業からの支援策の発表も相次いでいるが、特に今回は子供向けのコンテンツの無料提供の動きが顕著なようだ。一方産業面では、観光や小売、飲食業等が特に大きな影響を受けている。通常の企業運営においても面会や通勤の場がリスク視され、サーモグラフィやWeb会議ツールの活用、テレワークの実現などテクノロジーによるリスク回避策への注目が高まっている。