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» 2022年02月17日 07時00分 公開

EUV露光用フォトマスクブランクスの生産能力を増強、現在の約2倍に工場ニュース

AGCのグループ会社AGCエレクトロニクスで、EUV露光用フォトマスクブランクスの生産能力を増強する。2023年1月から生産を開始し、2024年にAGCグループのEUVマスクブランクス生産能力を現在の約2倍に高める。

[MONOist]

 AGCは2022年1月25日、グループ会社のAGCエレクトロニクスで、EUV露光用フォトマスクブランクス(EUVマスクブランクス)の生産能力を増強すると発表した。2023年1月から生産を開始し、段階的に増強して2024年にAGCグループのEUVマスクブランクス生産能力を現在の約2倍に高める。

 半導体生産でのEUVプロセスは、ロジックの他にメモリ向けでも採用が進んでおり、それに伴ってEUVマスクブランクスの需要が増加している。また、次世代、次々世代半導体向けEUVマスクブランクスの出荷も見込まれ、今回、生産能力増強を決定した。

キャプション EUV露光用フォトマスクブランクス[クリックで拡大] 出所:AGC

 同社は、EUV露光技術を用いた半導体生産プロセスで使用する、フォトマスクブランクスの研究開発を2003年より着手。ガラス材料やガラス加工、コーティングなどの各技術を融合させて技術開発に取り組み、EUVマスクブランクスの生産を2017年に開始した。

 ガラス材料からコーティングまでを一貫して手掛ける同社は、ニーズに対応した段階的な投資を実施してきた。2020年7月には、AGCエレクトロニクスの建屋拡張を含めた大型増強工事を決定。生産を2022年1月に開始している。

 AGCグループでは、今後も需要増が見込まれるEUVマスクブランクス事業に対し、積極的な設備投資を実施。2025年には、売上高400億円以上を目指すとしている。

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