日本トムソンは、「高精密位置決めテーブルTX」のアブソリュート型リニアエンコーダー仕様を発売した。リニアエンコーダー付きの指定をすることで、フルクローズドループ制御による高精度な位置決め制御ができる。
日本トムソンは2020年6月1日、「高精密位置決めテーブルTX」のアブソリュート型リニアエンコーダー仕様を発売した。リニアエンコーダー付きの指定をすることで、フルクローズドループ制御による高精度な位置決め制御ができる。
高精密位置決めテーブルTXは、新たにアブソリュート型リニアエンコーダーを追加し、最適なリニアエンコーダーを選択できる。サイズバリエーションとストロークの長さが豊富で、直交型の二軸仕様「CTX…M」も用意する。
アブソリュート型リニアエンコーダーは、電源投入直後から絶対位置を計測するため、起動時や非常停止時の原点復帰を必要とせず、インクリメンタル型リニアエンコーダーで用いられる原点前センサーも不要だ。同リニアエンコーダーを選択することで、大幅に装置の立ち上げにかかる時間を短縮できる。
シリアル通信を用い、要求に応じた位置を計測するアブソリュート型リニアエンコーダーは、高い分解能でも最高速度が低下しない。分解能0.05μm、ボールねじリード10mmとした場合、TXの最高速度はインクリメンタル型200mm/s、アブソリュート型500mm/sとなる。高分解能と高速移動の両立が求められるアプリケーションに向く。
テーブルの直線運動を案内する箇所には、高い走行性能を有する同社の直動案内機器「CルーブリニアローラウェイスーパーX」を採用した。
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