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ひずみ感度200倍のフレキシブルセンサーを開発：医療技術ニュース

大阪大学は、ゲージ率400以上のフレキシブルひずみセンサーを開発した。産業で用いられているセンサーの約200倍のひずみ感度を達成し、従来測定が困難だったマイクロひずみを検出可能になる。

» 2020年01月16日 15時00分 公開
[MONOist]

　大阪大学は2019年12月18日、ゲージ率400以上のフレキシブルひずみセンサーを開発したと発表した。現在、産業で用いられているセンサーの約200倍となるひずみ感度のため、従来測定が困難だったマイクロひずみを検出可能になる。同大学産業科学研究所 准教授の神吉輝夫氏らと、ジェノバ大学、イタリア学術会議の共同研究による成果だ。

キャプション 指の屈伸運動による大きな電気抵抗変化を観測 出典：大阪大学

　研究グループは、わずかなひずみで大きく抵抗が変化する、二酸化バナジウムというセラミック材料に着目。二酸化バナジウム薄膜の単結晶化に成功した。また、基板からの剥離技術、フレキシブルシート上への転写技術を確立し、これら3つの技術でセンサーの高感度化を達成した。

　産業で使用されるフレキシブルセンサーの多くは、ゲージ率2のニッケル合金製だ。今回開発したセンサーは、信号増幅なしに微小ひずみを検知するため、回路の小型化や省エネ化が可能になる。そのため、従来の装置では難しいマイクロひずみ（1mの棒が0.000001mの伸縮）を検出でき、脳波やわずかな筋肉の動き、建造物の微小経時変化を簡便な装置で高精度に測定可能になることが期待できる。

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