オムロンは、T型回路構造を採用したMOS FETリレーモジュール「G3VM-21MT」を発売した。漏れ電流を1pA以下と極小化し、高精度での測定と試験装置のメンテナンス頻度の低減を両立した。
オムロンは2019年12月2日、T型回路構造を採用したMOS FETリレーモジュール「G3VM-21MT」を発売した。主に、半導体の電気的な試験を行う試験装置において、計測信号の切り替えを実施する。
G3VM-21MTは、無接点で信号を出力する小型で長寿命なMOS FETリレーと、3つのMOS FETリレーで構成されるT型回路構造を採用。これにより、漏れ電流を1pA以下と極小化し、高精度での測定と試験装置のメンテナンス頻度の低減を両立した。
出力回路は、半導体のMOS FETリレーで構成されており、物理接点がない。回路の切り替えによるアーク放電がないため、接点の摩耗などによるメンテナンスが不要だ。
外形サイズは5×3.75×2.7mm。入出力回路の複雑な配線をモジュール内部に盛り込み、アプリケーションの基板上の配線を簡素化した。主な用途として、ICパッケージテストシステム、半導体ウェハテストシステム、インサーキットテスターなどを想定している。
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