長期間の真空保持に対応する、配管継手用メタルシールを開発材料技術

三菱電線工業は、真空配管継手用にSUS316L製メタルシールを開発した。高温や低温、腐食ガス環境で、優れたシール性能を発揮する。

» 2026年01月21日 11時00分 公開
[遠藤和宏MONOist]

 三菱電線工業は2026年1月5日、真空配管継手(ISO-KFおよびNW継手:JIS B 8365およびISO 2861に規定)用の「SUS316L製メタルシール」を開発したと発表した。高温や低温、腐食ガス環境で、優れたシール性能を発揮する。

SUS316L製メタルシール SUS316L製メタルシール[クリックで拡大] 出所:三菱電線工業

 開発したメタルシールは、ゴム系シールに比べてガス透過やアウトガスの影響を低減し、長期間の真空保持を可能にする。従来のシール材であるフッ素ゴムやパーフルオロエラストマーに比べ、高い真空保持性能(100分の1)を有する。

 温度域は−90〜+300℃と広範囲に使用でき、ゴム材では困難な低温や高温環境下でもシール性能を維持し、熱処理や高温プロセスにも適用可能だ。腐食性ガスを扱うプロセスでも劣化しにくく、メンテナンス頻度の低減が期待できる。

メタルシール使用時のイメージ断面図 メタルシールのイメージ断面図[クリックで拡大] 出所:三菱電線工業
メタルシール使用時のイメージ断面図 メタルシール使用時のイメージ断面図[クリックで拡大] 出所:三菱電線工業

 近年、真空環境を必要とする産業は、研究開発設備や医薬バイオ、食品加工、精密機器など多岐にわたる。同製品は、ISO 2861とJIS B 8365に規定された市販の真空配管継手やフランジに適用可能で、真空技術を必要とする産業全般に貢献する。

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