最新レーザー加工技術が東大柏IIキャンパスに集結、高出力ピコ秒DUVレーザーなど：FAニュース

NEDOは、2016〜2020年度にかけて実施中のプロジェクト「高輝度・高効率次世代レーザー技術開発」で開発された最先端のレーザー光源や加工機を集約してレーザー加工の課題解決に寄与するプラットフォーム「柏IIプラットフォーム」を構築したと発表した。

[朴尚洙，MONOist]

　NEDO（新エネルギー・産業技術総合開発機構）は2021年2月22日、2016〜2020年度にかけて実施中のプロジェクト「高輝度・高効率次世代レーザー技術開発」で開発された最先端のレーザー光源や加工機を集約してレーザー加工の課題解決に寄与するプラットフォーム「柏IIプラットフォーム」を構築したと発表した。プロジェクトに参加する13法人（東京大学、産業技術総合研究所、三菱電機、スペクトロニクス、大阪大学、浜松ホトニクス、パナソニック、パナソニック スマートファクトリーソリューションズ、金門光波、千葉工業大学、レーザー技術総合研究所、ギガフォトン、島津製作所）が持つ加工品質の計測・評価技術やデータベースといった共通基盤技術を組み合わせており、最先端のレーザー光源やレーザー加工機を容易に利用できるとともに、集約されたレーザー技術と共通基盤技術およびデータベースの効果や適用可能性を検証できる。

　「高輝度・高効率次世代レーザー技術開発」では、さまざまな特徴を持つ、最先端のレーザー光源・加工機を開発してきた。例えば、難加工材の高品位加工を目指した今までにない短波長の高輝度レーザー加工機や、広範囲の焼き入れ加工などを可能とする高出力半導体レーザー、銅のマイクロ溶接などで期待される高出力高輝度青色半導体レーザー、加工や計測用途に期待される短波長ファイバーレーザーなどがある。

　今回発表した「柏IIプラットフォーム」では、東京大学の柏IIキャンパス（千葉県柏市）と同キャンパス内の産業技術総合研究所柏センターに、「高輝度・高効率次世代レーザー技術開発」で開発してきたレーザー光源や加工機を集約。既に各業界のユーザーによるテストユースを進めており、まずは最適な加工条件を引き出すためのさまざまな材料を対象とした試験加工を行い、産業界と共有できるデータの集積を開始している。

　「柏IIプラットフォーム」には、266nm 20Wピコ秒レーザー加工装置（大阪大学、スペクトロニクス、三菱電機）、レーザー加熱加工装置（浜松ホトニクス）、GaN系半導体 レーザー加工装置（パナソニック、パナソニック スマートファクトリーソリューションズ）、UVファイバーレーザー装置（千葉工業大学、レーザー技術総合研究所、金門光波）、ハイブリッドArF加工試験機（ギガフォトン）、高輝度高出力青色半導体レーザー（大阪大学、島津製作所）、パルス幅可変レーザー加工装置（東京大学、産業技術総合研究所）という7台のレーザー加工装置がある。

「柏IIプラットフォーム」に設置しているレーザー装置の一覧（クリックで拡大） 出典：NEDO

　この「柏IIプラットフォーム」に集約したレーザー光源や加工機は、プロジェクト終了後も、東京大学が産学官連携で光モノづくり協創を推進するため2017年10月に設立した「TACMIコンソーシアム」の枠組みを活用して運営を継続する予定である。

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