半導体排水の再利用を加速、Nittoが寿命2倍の耐汚染RO膜を発売材料技術

半導体製造工程で生じる産業排水の再利用ニーズ拡大を踏まえて、日東電工は寿命が従来比約2倍となる耐汚染逆浸透(RO)膜エレメント「PRO-XR1-X-LD」を発売した。

» 2026年09月09日 06時30分 公開
[遠藤和宏MONOist]

 日東電工(Nitto)は2026年9月7日、半導体製造をはじめとする各種産業の製造工程で発生する高難度排水の再利用に適した耐汚染逆浸透(RO)膜エレメント「PRO-XR1-X-LD」を同月に販売開始したと発表した。

有機物やコロイド粒子の付着を抑制

 近年、半導体をはじめとする各種産業の成長に伴い、製造工程で使用される水量が増加している。一方で、水資源の有効活用や環境負荷低減への要求が世界的に高まる中、排水規制の強化も背景に、産業排水の再利用ニーズが拡大している。

 RO膜は、水中の不純物を除去する分離膜として、工業用水の製造や排水再利用など幅広い用途で活用されている。特に半導体製造工程などの排水には、有機物や微粒子など膜汚染(ファウリング)の原因となる成分が多く含まれている。ファウリングが進行すると処理性能が低下し、膜の洗浄や交換頻度が増加するため、運転コストや環境負荷の増大が課題となっている。

 Nittoは、こうした顧客の課題解決に貢献するため、処理難度の高い産業用途向けRO膜エレメント「PROシリーズ」の製品ラインアップを強化している。今回発売したPRO-XR1-X-LDは、高難度排水処理における膜汚染の抑制を追求した耐汚染RO膜エレメントだ。

耐汚染RO膜エレメント「PRO-XR1-X-LD」 耐汚染RO膜エレメント「PRO-XR1-X-LD」[クリックで拡大] 出所:日東電工

 同製品は、独自の表面コーティング技術と流路構造の最適化により、有機物やコロイド粒子の付着を抑制している。これにより、高い不純物除去性能を維持しながらファウリングによる性能低下を抑えられる他、高負荷な排水条件でも安定した処理性能と効率的な水回収を実現する。

 また、膜洗浄頻度の低減により、従来製品比で約2倍の膜寿命延長を可能にする。その結果、メンテナンス負荷や運転コストの削減につながるとともに、水資源の効率的な再利用による製造プロセス全体の環境負荷低減にも役立つ。

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