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滋賀で半導体製造装置の新工場が操業開始、約100億円かけ建設：工場ニュース

SCREENホールディングスは、彦根事業所敷地内に建設した半導体製造装置の新工場の操業を開始した。枚葉式洗浄装置「SU」シリーズの主力工場に連結し、出荷前洗浄工程を強化する。

» 2023年02月15日 11時00分公開

[MONOist]

　SCREENホールディングスは2023年1月30日、彦根事業所（滋賀県彦根市）敷地内に建設tしていた半導体製造装置の新工場「S³-4（エスキューブフォー）」が完成し、操業を開始したと発表した。

新工場「S³-4」［クリックで拡大］出所：SCREENホールディングス

　新工場は鉄骨造の地上2階建で、建築面積が約5285m²、延床面積が約9625m²となる。約100億円（S³-4を含む工事全体の金額）をかけ、彦根事業所の敷地内に2022年1月より建設を進めていた。

　枚葉式洗浄装置「SU」シリーズの主力工場「S³-3」に連結し、主力製品である枚葉式洗浄装置の生産などを主な業務とする。S³-3で生産された装置やユニットの出荷前洗浄工程を強化し、生産開始から出荷まで効率良い生産フローを構築する。

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