パナソニック デバイスSUNXは2015年6月30日、世界最小サイズとされる、極小型ビームセンサー「EX-Zシリーズ」を発売した。センサー本体前面にスリットを内蔵したことで、微小物体ø0.3mmの検出ができる。
パナソニック デバイスSUNXは2015年6月30日、世界最小サイズとされる、極小型ビームセンサー「EX-Zシリーズ」を発売した。装置の小型化が進む半導体業界・電子部品製造業界で、微小部品の検出に対応できるという。
EX-Zシリーズは、ワイヤボンディングなしで実装できる半導体パッケージ技術により、同社従来機種「EX-10シリーズ」に比べて体積を約50%低減した。サイズは、フラットONタイプがW8×H14×D3mm、サイドONタイプがW5.5×H15.9×D6.5mmで、従来ファイバーヘッドしか対応できなかったスペースにも取り付けができる。
また、センサー本体前面にスリットを内蔵し、別売のスリットがなくても微小物体ø0.3mmの検出ができる。さらに、高輝度4元素赤色LEDを採用したことで光量がアップし、検出距離500mmでø1.0mmワークの検出を可能にした。
ラインアップはフラットON/サイドONタイプの計24種で、検出距離は50/200/500mm。全機種に耐屈曲ケーブルタイプを用意した。標準価格(税別)は各8500円、耐屈曲ケーブルタイプは各9300円となる。
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