垂直案内に空気軸受を搭載した高精度垂直軸テーブル：FAニュース

日本精工は、駆動モータを小型化し、真直度の再現性が±0.1μm以下と高精度な位置決めが可能となった、垂直軸テーブルを開発した。

[MONOist]

　日本精工は2015年12月15日、次世代半導体製造装置の小型化・微細化・3次元化などに対応する、高精度垂直軸テーブルを開発したと発表した。

　スマートフォンやタブレット端末の電子部品生産現場では、部品の小型化・微細化に伴い、高機能・高精度な位置決めテーブルが求められている。

　今回開発された垂直軸テーブルは、垂直案内軸受に空気軸受を搭載。真直度の再現性は従来品の±0.5μmから±0.1μm以下となっている。同社独自の自重キャンセル機構により、駆動モータを50％以下に小型化できる。

　さらに、くさび機構を採用することで、垂直方向の高精度位置決めを可能にした。クリーン対応は、ISO規格最高のクラス1（1m³中に0.1μm粒子が10個以下）相当だという。

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