従来機比最大25％の高速表示が可能な超音波映像装置を発売：FAニュース

日立パワーソリューションズは、超音波を利用して半導体や電子部品などを非破壊で高精度に検査する超音波映像装置「FineSAT V」を製品化した。64bit処理システムを採用し、データ処理ソフトウェアと大量のデータを高速で処理できる。

[MONOist]

　日立パワーソリューションズは2015年4月7日、超音波を利用して半導体や電子部品などを非破壊で高精度に検査する超音波映像装置「FineSAT V」を製品化したと発表した。従来機と比べ、測定画像を最大25％高速で表示できるという。

　FineSAT Vは、超音波の送受信を行う超音波プローブ、超音波探傷器、スキャナ機構（3軸）、制御装置、画像処理装置などで構成される超音波映像装置。独自開発のデータ処理ソフトウェアと大量のデータを高速で処理するため、新たに64bit処理システムを採用した。データ処理ソフトウェアでは、従来機の4倍となる分解能、連続的に焦点位置を変えて走査できるマルチフォーカス、反射法・透過法の同時測定で取得した2画像を重ね合わせて表示するオーバーレイ表示などを可能にした。

　また、標準仕様で、最大4億カ所の測定データを保存・処理できる。標準仕様で20μm以下の微小なピッチでデータ取得ができるため、大きな検査対象物の詳細測定の際、従来機では複数回必要だった走査が1回で済むという。

　さらに、測定速度が従来機に比べ25％高速化したスキャナと組み合わせることで、検査時間を短縮した。高剛性フレームを採用したスキャナは、装置の振動を抑制するため、高速走査でも鮮明な画像を取得できる。

　販売開始は2015年4月20日で、価格は2500万円（税込）からとなる。

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