　積分型方式では事前に閾値を設定することなく光子のエネルギー情報を高分解能で取得できるため、微弱な光子単位の信号もノイズに埋もれずに安定して検出する。これにより、広いダイナミックレンジでの高精度なX線の総エネルギー量測定と、光子単位でのエネルギー情報の取得という、従来両立が困難だった機能を単一のチップで達成した。

　同センサーの応用分野は、半導体や電池製造での高速動体検査で、定量精度やスループットの向上が期待できる。また、高いエネルギー分解能により、光子エネルギーの違いと二次元分布を可視化する元素のカラーマッピングや、光子エネルギー情報と空間情報を融合させた結晶構造解析と元素分析の同時測定など、多機能な後段処理を可能にする。

先端デバイスのインライン検査や材料科学、生命科学における科学計測へ応用可能（イメージ画像）［クリックで拡大］出所：ソニーセミコンダクタソリューションズ

元素マッピングのイメージ画像（出典：理化学研究所）。対象物の構成元素をエネルギー値から推定し、色分けして可視化する［クリックで拡大］出所：ソニーセミコンダクタソリューションズ

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