　また、半導体製造工場内の自動搬送装置（OHT：Overhead Hoist Transport）と連携して、レティクルやマスクを受け渡すユニット（EFEM：Equipment Front End Module）を自社開発した。同ユニットは、顧客が求める仕様に柔軟に変更でき、製造プロセスの自動化や省人化に寄与する。

OHTと自社開発のEFEM 出所：堀場製作所

　同社は今後、PD Xpadion EXの拡張機能として、異物の成分分析や異物付着を防ぐ防塵膜（ペリクル）の膜厚測定などを追加する。

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