半導体製造工程での異物検出と除去を1台で行う異物検査装置、堀場製作所が発売：FAニュース

堀場製作所は、レティクル、マスクの異物検査装置「PD Xpadion EX」を発売した。同社の異物検査装置「PD Xpadion」に自動異物除去機能を搭載し、半導体製造の露光工程における異物の検出と除去が1台で完結する。

[MONOist]

　堀場製作所は2024年3月18日、レティクルおよびマスクの異物検査装置「PD Xpadion EX」を発売した。

　同装置は、異物検査装置「PD Xpadion」をベースに、自動異物除去装置「RP-1」の機能を搭載する。これにより、半導体製造の露光工程における異物の検出と除去が1台で完結する。

　異物の検出と除去が連続的にできるように、レティクル、マスクの格納ケースを2式同時にセット可能なマルチポートも備えた。

レティクル、マスク異物検査装置「PD Xpadion EX」［クリックで拡大］ 出所：堀場製作所

　異物検出と除去工程を一体化することで、異物を除去する際に新たな異物が付着するリスクを軽減する。製造プロセスの効率化や設置面積の低減といったニーズにも応える。

　また、半導体製造工場内の自動搬送装置（OHT：Overhead Hoist Transport）と連携して、レティクルやマスクを受け渡すユニット（EFEM：Equipment Front End Module）を自社開発した。同ユニットは、顧客が求める仕様に柔軟に変更でき、製造プロセスの自動化や省人化に寄与する。

OHTと自社開発のEFEM 出所：堀場製作所

　同社は今後、PD Xpadion EXの拡張機能として、異物の成分分析や異物付着を防ぐ防塵膜（ペリクル）の膜厚測定などを追加する。

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