ウエハー搬送機構の刷新で高い生産性、独自の洗浄処理技術を有する枚葉式洗浄装置：FAニュース

SCREENセミコンダクターソリューションズは、高い生産性と独自の洗浄処理技術を有する枚葉式洗浄装置「SU-3400」を開発し、販売を開始した。従来装置より、フットプリントを30％削減している。

[MONOist]

　SCREENセミコンダクターソリューションズは2022年12月7日、高い生産性と独自の洗浄処理技術を有する枚葉式洗浄装置「SU-3400」を開発し、同月から販売を開始すると発表した。「SU」シリーズの安定した洗浄処理性能を継承している。

枚葉式洗浄装置「SU-3400」 出所：SCREENセミコンダクターソリューションズ

　洗浄処理チャンバーを小サイズ化し、新たに6段タワー構造のプラットフォームを採用。従来装置と同じ24台のチャンバーを搭載しつつ、フットプリントを30％削減した。ウエハー搬送機構を刷新したことで、装置面積当たりの生産量が向上しており、最大毎時1200枚の実用処理能力を有する。

　また、洗浄ノズルの改良と効率的な薬液循環システムにより、薬液の使用量を削減。装置使用時の環境負荷は、全自動気流制御による排気流量削減などで20％低減している。

　サポート、メンテナンス機能として、高解像度カメラによるチャンバー内のモニタリング、IoT（モノのインターネット）およびビッグデータを活用した故障検知などを搭載している。

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