フェムト秒レーザーで高品質な仕上げ、牧野フライスの超短パルスレーザー加工機：FAニュース

牧野フライス製作所は、フェムト秒でレーザー照射する超短パルスレーザー加工機「LUMINIZER LF400」の販売を開始した。熱拡散の低減により変質層やクラックを発生させない加工が可能になり、微小形状を高品質に仕上げる。

[MONOist]

　牧野フライス製作所は2022年7月21日、フェムト秒でレーザー照射する超短パルスレーザー加工機「LUMINIZER LF400」の販売を開始した。オープン価格で、半導体関連産業と医療機器分野への参入を狙う。

超短パルスレーザー加工機「LUMINIZER LF400」 出所：牧野フライス製作所

　一般的な短パルスレーザー（ナノ秒）より、照射時間が極めて短い超短パルスレーザー（フェムト秒）を採用しており、熱拡散を低減することで変質層やクラックを発生させない加工が可能になり、微小形状を高品質に仕上げる。また、ガルバノスキャナーを搭載し、加工内容に適したレーザー制御が可能だ。

フェムト秒レーザーが高品質に仕上げる 出所：牧野フライス製作所

ガルバノスキャナー搭載 出所：牧野フライス製作所

　レーザー加工に適した機械筐体設計と光学機器のレイアウト、マシニングセンタで培った高精度な位置決め技術が、高精度で安定した加工を支援する。オプションで、外気温変化の影響を最小化する恒温チャンバーも用意している。直感的な操作ができるオペレーションパネルを搭載し、同一システムで周辺機器を含めた操作が可能だ。

　本体のサイズは3010×4180×2350mmで、付属装置を含む質量は8800kg。X、Y、Z軸の移動量は370、370、200mm、最大ワークは450×450×200mm、最大積載質量は70kgとなっている。

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