金属への吸収率が高い450nmの短波長において、従来の16倍となる輝度を可能にした。スポットサイズはφ100μmと極小のため、基板の配線パターン加工・半導体薄膜加工などの微細加工、3Dプリンタなどに利用できる。
島津製作所は2014年10月14日、微細加工に適した10W出力のファイバー結合型高輝度青色半導体レーザー「HK-5650」を発売した。同時に、オキサイドの連続発振266nm深紫外固体レーザー「Frequad」シリーズの販売も開始し、高出力/高輝度短波長レーザーのラインアップを拡充する。
HK-5650は、金・銅などの金属への吸収率が高い450nmの短波長において、従来の16倍となる輝度を可能にした。スポットサイズはφ100μmと極小のため、基板の配線パターン加工・半導体薄膜加工などの微細加工、3Dプリンタなどに利用できる。
また、青色半導体レーザを直接レーザ加工に用いることで、固体レーザー・ファイバーレーザーを使う固体グリーンレーザーよりも安価で、消費電力も半分程度に低減した。炭酸ガスレーザー・固体グリーンレーザーと比べ、メンテナンス性にも優れている。
価格は250万円(税別)で、発売から1年間で50台の販売を目指す。
同時に発売されたFrequadシリーズは、オキサイドが開発・製造する短波長のUV領域のレーザー。0.005pm以下の狭スペクトル幅の単一波長光源のため、分析計測装置・半導体検査装置の光源に適している。ラインアップは、出力10mW〜2Wまでの4種類で、広い用途に対応できる。
MONOist FAフォーラムのメールマガジンの配信を2014年7月よりスタートしました。FAニュースをはじめ、産業用ロボット、インダストリー4.0、PLCや産業用ネットワーク、制御システムセキュリティなど注目の話題をまとめてお届けしています。
ぜひ、メルマガ配信のご登録をお願い致します。
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.