　開発した冷却システムは、マイクロ流路を形成した基板と、冷却水を分配するマニホールド構造を持つ基板の2枚のシリコン基板で構成する。マイクロ流路の側壁付近にある微細な柱がキャピラリー構造として機能し、熱を吸収した水の一部が蒸気に代わることで、気化熱によってチップから熱を奪う。水蒸気は主にマイクロ流路の中央部を伝わり、マニホールド構造の出口から排出する。

マイクロ流体デバイスの概略図［クリックで拡大］出所：東京大学

　9個のマニホールド構造を備えた設計では、従来の冷却方法と比べて圧力損失が62％低減し、1cm²当たり700W以上の熱処理能力を達成した。また、冷却効率を表す性能係数が10万を超え、世界最高レベルの冷却効率を実証した。

水を使用したマイクロ流路での二相冷却における臨界熱流束と性能係数のベンチマーク［クリックで拡大］出所：東京大学

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