300mmウエハーの一括検査に対応、内部の微細な欠陥を画像化する超音波映像装置：FAニュース

日立パワーソリューションズは、欠陥検出画像の高画質化と300mmウエハーの一括検査に対応した、超音波映像装置「FineSAT7」を発売する。超音波の反射、透過特性を利用して、半導体や電子部品内部の微細な構造、欠陥を非破壊で検出、画像化する。

[MONOist]

　日立パワーソリューションズは2022年8月29日、欠陥検出画像の高画質化と300mmウエハーの一括検査に対応した、超音波映像装置「FineSAT7」を同年10月1日に発売すると発表した。半導体デバイスや電子部品、大型ウエハーの品質検査精度を向上できる。価格は2850万円から（税別）。

超音波映像装置「FineSAT7」 出所：日立パワーソリューションズ

　FineSAT7は、超音波の反射、透過特性を利用して、半導体や電子部品内部の微細な構造、剥離およびボイドなどの欠陥を非破壊で検出、画像化する。従来機に比べ、分解能を16倍、測定周期を2倍向上させたADボードを採用し、デジタル処理後の特徴抽出精度を向上できる。

　また、1画素の輝度に対して周囲8カ所から取得した超音波波形を足し合わせて平均化する技術を採用。電子回路の熱雑音などに起因して発生するランダムノイズを低減し、欠陥検出画像を高画質化する。

欠陥検出画像を高画質化 出所：日立パワーソリューションズ

　直径300mm（12インチ）ウエハーの一括検査にも対応した。装置内の機器配置を見直し、検査対象物を測定する水槽を大型化することで、測定機器の可動域を拡大。全面一括で検査が可能になった他、検査対象物の水槽内での移動、超音波の反射の原因となる気泡の除去などの作業性も向上した。

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