さまざまな材料上に貼り付けられるマグネタイト薄膜を作製：組み込み開発ニュース

大阪大学産業科学研究所は、六方晶窒化ホウ素（hBN）シート上でマグネタイト（Fe3O4）薄膜を成長させ、さまざまな材料上に貼り付けられるFe3O4薄膜を作製した。同薄膜は相転移特性に優れ、別の場所に貼り付けた後も特性を維持するため、フレキシブル素子などへの応用が期待される。

» 2021年12月27日 08時00分公開

[MONOist]

　大阪大学産業科学研究所は2021年12月3日、2次元シート状のhBN（六方晶窒化ホウ素）上でFe₃O₄（マグネタイト）薄膜を成長させることで、特性を維持しつつ、さまざまな材料上に貼り付けられるFe₃O₄薄膜を作製したと発表した。

hBN上のFe₃O₄薄膜の剥離と貼り付けの模式図出所：大阪大学産業科学研究所

　研究グループは、hBNシート上にFe₃O₄薄膜を成長させ、原子が整然と並んだ結晶性が高いFe₃O₄薄膜を作製した。また、同薄膜が優れた相転移特性を示すことや、別の場所に貼り付けた後も薄膜の特性が劣化しないことを確認している。

SiO₂基板上に貼り付けたhBN上のFe₃O₄薄膜の光学顕微鏡像出所：大阪大学産業科学研究所

電子顕微鏡で観察したFe₃O₄とhBNの断面構造出所：大阪大学産業科学研究所

hBN上のFe₃O₄薄膜の電気伝導特性。貼り付け後も特性は劣化しない出所：大阪大学産業科学研究所

　今回の研究成果は、Fe₃O₄以外の機能性酸化物薄膜を用いた、貼り付け可能な素子の作製にも適用できるという。ウェアラブル素子やフレキシブル素子などへの応用が期待される。

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