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» 2021年12月27日 08時00分 公開

さまざまな材料上に貼り付けられるマグネタイト薄膜を作製組み込み開発ニュース

大阪大学産業科学研究所は、六方晶窒化ホウ素(hBN)シート上でマグネタイト(Fe3O4)薄膜を成長させ、さまざまな材料上に貼り付けられるFe3O4薄膜を作製した。同薄膜は相転移特性に優れ、別の場所に貼り付けた後も特性を維持するため、フレキシブル素子などへの応用が期待される。

[MONOist]

 大阪大学産業科学研究所は2021年12月3日、2次元シート状のhBN(六方晶窒化ホウ素)上でFe3O4(マグネタイト)薄膜を成長させることで、特性を維持しつつ、さまざまな材料上に貼り付けられるFe3O4薄膜を作製したと発表した。

キャプション hBN上のFe3O4薄膜の剥離と貼り付けの模式図 出所:大阪大学産業科学研究所

 研究グループは、hBNシート上にFe3O4薄膜を成長させ、原子が整然と並んだ結晶性が高いFe3O4薄膜を作製した。また、同薄膜が優れた相転移特性を示すことや、別の場所に貼り付けた後も薄膜の特性が劣化しないことを確認している。

キャプション SiO2基板上に貼り付けたhBN上のFe3O4薄膜の光学顕微鏡像 出所:大阪大学産業科学研究所
キャプション 電子顕微鏡で観察したFe3O4とhBNの断面構造 出所:大阪大学産業科学研究所
キャプション hBN上のFe3O4薄膜の電気伝導特性。貼り付け後も特性は劣化しない 出所:大阪大学産業科学研究所

 今回の研究成果は、Fe3O4以外の機能性酸化物薄膜を用いた、貼り付け可能な素子の作製にも適用できるという。ウェアラブル素子やフレキシブル素子などへの応用が期待される。

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