MEMS式の高精度ジャイロスコープ「CRH02シリーズ」を発売：FAニュース

シリコンセンシングシステムズジャパンは、MEMS式の高精度ジャイロスコープ「CRH02シリーズ」を発表した。新開発のMEMS式リング型センサヘッドを搭載し、FOG・DTGを上回る性能を可能にした。

[MONOist]

　シリコンセンシングシステムズジャパンは2014年12月25日、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）式の高精度ジャイロスコープ「CRH02シリーズ」を発表した。慣性航法装置や掘削用真方位計測など、計測用途に対応する。

　CRH02シリーズは、新開発のMEMS式リング型センサヘッド「SGH03」を同社独自のプラットフォームに搭載。従来、MEMS式ジャイロスコープは、光式ファイバージャイロ（FOG）・機械式ジャイロ（DTG）と比べ、積算時間に応じた角度誤差や出力変化、出力の温度特性などに差異があったが、FOG・DTGを上回る性能を可能にした。

　サイズは33mm×33mm×25.4mmと小型で、MEMS式の長所である高い耐振動・耐衝撃特性を備えた。また「25deg/s」「100deg/s」「200deg/s」「400deg/s」の4つの動作レンジの他、品質マネジメント規格「JIS-Q-9100」に対応し、宇宙開発用慣性装置にも対応できる。

　主な用途は、無人機の慣性装置、大深度掘削施工管理・検証、老朽埋設管健全性確認・検証など。アナログ出力1軸品は2015年1月、デジタル出力6軸品（ジャイロ3軸・加速度3軸）は2015年春に発売の予定で、既にサンプルの提供を開始している。

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