オリンパス、製造工程の部品の形状測定を効率的に行える測定顕微鏡を発売：FAニュース

検査対象物を載せるステージを300mm角の正方形タイプにしたことで、大型の対象物も向きを変えずに測定できる。本体台座に高剛性・高耐震性が特長の石定盤（花崗岩）を採用し、安定した高精度測定が可能に。

[MONOist]

　オリンパスは2014年11月4日、製造工程における加工部品・半導体部品・電子部品の形状測定を効率的に行える測定顕微鏡「STM7」を発売した。

　測定顕微鏡は、非接触の形状測定と金属顕微鏡による観察が1台でできる光学機器。加工部品や半導体部品など、さまざまな部品の製造・組み立て現場で、対象物を傷付けずに効率的な測定ができる。

　今回開発されたSTM7は、検査対象物を載せるステージを、従来の250mm×150mmから300mm×300mmの大型で正方形のタイプにした。これにより、半導体の300mmウエハーやプリント基板などの大型対象物（サンプル）も向きを変えずに測定できる。小型のサンプルでは、複数を同時にステージに置けるため、効率的な測定が可能だ。

　本体台座に高剛性・高耐震性が特長の石定盤（花崗岩）を採用したことで、安定した高精度測定が可能だという。

　さらに、測定支援ソフトウェア「STM7-BSW」と同社の顕微鏡用デジタルカメラを併用することで、複雑な形状の部品でも簡単な操作で正確に測定できる。測定結果はMicrosoft Excelに出力可能で、レポートの作成も効率的にできるという。

　ラインアップは6機種で、小型・中型・大型の3タイプにそれぞれ手動と電動がある。国内をはじめ、世界で順次発売する。

測定顕微鏡 STM7

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