　同製品は、LED光源の採用により、水銀ランプと比較して照度を40％以上向上させ、タクトタイムの短縮を可能にした。光源ユニットは従来の3基から1基に集約している。光源寿命も従来の1000時間から2万時間にまで延びており、約20倍の長寿命化を達成。光源交換の頻度を抑制することで交換に伴う装置の停止時間を減らし、ディスプレイ製造ラインの安定稼働を支える。

　ランニングコストと環境負荷の抑制にも寄与する。照明ユニットの消費電力は従来比で65％以上削減し、露光装置全体では10％以上の低電力化を可能にした。また、露光装置1台当たりの水銀廃棄量を年間1kg以上削減する。

　同社は今後、LED照明オプションの対応機種の拡充や、稼働中の既設装置の光源をLEDへアップグレードする有償サービスの展開も進めていく方針だ。

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