　同製品は、前川製作所の自然冷媒冷却技術（ターボブレイトン冷凍機）を応用し、半導体のエッチング工程に最適な－70℃の超低温環境を提供する。半導体のエッチング工程は－40℃より－70℃の環境下の方が処理時間を短縮できるため、生産ラインの効率を向上する。また、機体がコンパクトなことから、既存のライン構成を変更することなく機器の入れ替えができる。

　同社の冷却技術に伸和コントロールズの制御技術を組み合わせたことで、従来の蒸気圧縮式冷凍機と比べて30％の省エネルギー化に成功。ランニングコストとCO₂排出量を削減できる。今後、使用が制限されるフロン系冷媒も使用しないため、2050年のカーボンニュートラルに向けた取り組みにも貢献する。

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