　日立ハイテクサイエンスは2022年8月31日、Hitachi High-Tech Analytical Science（日立ハイテクアナリティカルサイエンス）が製造する卓上型蛍光X線膜厚計「FT230」を日本、韓国、台湾、アセアン地域向けに販売開始すると発表した。測定条件選択や測定位置決め、測定結果取得などにかかる時間を短縮し、めっき被膜の膜厚測定を効率化する。

卓上型蛍光X線膜厚計「FT230」出所：日立ハイテクサイエンス

　FT230は、製品の受け入れ検査、工程管理、最終品質管理などで、主に金属被膜の膜厚を測定する蛍光X線膜厚計の新製品だ。測定で最も時間がかかり、複雑な測定条件の各種設定を短縮し、簡素化できる。

　高分解能半導体検出器（SDD）を搭載し、最大5層の金属被膜の厚みを測定できる。RoHSのような特定有害物質の使用制限に関する法規制に準拠した部品のスクリーニングや、めっき液、金属合金を含む材料組成分析などにも対応する。

　新設計のソフトウェア「FT Connect」を搭載しており、シンプルなインタフェースで操作性が向上した。重要な表示要素を優先し、測定試料の表示や分析結果を明確に表示することで、試料の位置を正確に特定し、結果に対してすぐに対応できる。

　画像認識機能「Find My Part」を採用し、測定条件の設定時に自動的に適切なレシピを選択する。測定位置と条件は、Find My Partを使用することで装置が決定する。測定条件のデータベースであるユーザーライブラリは拡張可能で、新しい部品やルーティンを作業の変化に応じて追加できる。

　ワイドなモニター画面の大部分に試料が表示されるため、ユーザーは容易に表面の特徴を確認し、ピンポイントで分析のための適切な領域を特定できる。オプションとして、広視野カメラを用意。2台のカメラを併用することで、試料の測定部位の迅速な切り替え、ステージ上の複数試料の測定部位の切り替えに対応する。これによって、細部を見失わずに測定できる。

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