　東京エレクトロンデバイスは2020年6月9日、化合物半導体ウエハー表面の欠陥を高感度かつ高速で検出するマクロ検査装置「RAYSENS（レイセンス）」を発売した。これまで人手で実施してきたウエハーの目視検査や抜き取り検査を自動化。検査工数が削減し、全数検査が可能になることで、ウエハーの品質安定化に貢献する。

マクロ検査装置「RAYSENS」出典：東京エレクトロンデバイス

　RAYSENSは、超低ノイズのマクロ光学センサーと専用照明で構成される最適な光学系により、化合物半導体ウエハーのように透明、半透明なものやシリコンウエハーなどの非透明なものなど、幅広いワークの表面のわずかな変化を捉える。ベアウエハー、パターン付きウエハーのどちらにも対応可能だ。

　搬送部は、ウエハーのカセット取り出しから検査、格納まで、ウエハー表面裏面が非接触になっており、ウエハーの異物付着を抑制する。

　なお、同検査装置の導入を検討しているユーザーには、デモ機によるワーク評価サービスを実施している。実際のワークサンプルを使用し、撮影した画像や欠陥検出結果を確認できる。

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