　具体的には、金の層を複数重ねてMEMS構造を形成し、面積当たりの錘質量を増やしてノイズを低減した。また、錘の反りを低減して、感度（加速度当たりの静電容量変化）を増大。4mm角チップに実装した静電容量センサーは、同サイズのセンサーと比べて、ノイズ10分の1以下、感度100倍以上を示した。従来の小型シリコンMEMS加速度センサーでは難しかった、1μGレベルの検出が期待できる。

MEMS加速度センサーの拡大写真と電子顕微鏡写真（クリックで拡大）出典：NTTアドバンステクノロジ

　MEMS製造には、半導体微細加工技術と電解金めっきを使用。そのため、集積回路チップ上にこのMEMS構造を形成可能で、汎用性も高い。人体行動検知による医療・ヘルスケア技術、振動検知によるインフラ診断、ロボティクス、自動航行制御システム、宇宙空間での計測など、さまざまな分野での応用が期待できる。

従来のセンサーとの性能比較（クリックで拡大）出典：NTTアドバンステクノロジ

いまさら聞けない加速度センサ入門
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3軸加速度センサで学ぶアナログの世界
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AIと3Dプリント技術を活用し、MEMSセンサーの製造期間を短縮
日立製作所は、新たに開発した半導体向け3Dプリント技術を活用することで、MEMSセンサーの製造期間短縮が可能になると発表した。適用事例では、振動MEMSセンサー100個を1カ月で設計・製造可能になることを確認した。
MEMS 6軸力センサー付き把持鉗子で肺がんのサイズと位置を算出
東京大学は、内視鏡手術用把持鉗子の先端に取り付けたMEMS 6軸力センサーの触覚情報から、肺がんのサイズと位置を算出する手法を開発した。手術中に術者が腫瘍の正確な位置を把握でき、患者と術者双方の負担が減る。