MEMS用製造工場を拡張し、MEMSジャイロセンサーなどの需要増に対応：工場ニュース

住友精密工業は、Collins Aerospaceとの合弁会社Silicon Sensing Systemsが、MEMS用製造工場を拡張すると発表した。MEMSジャイロセンサーや薄膜PZT MEMSデバイスの需要増加に対応する。

» 2019年07月23日 07時00分公開

[MONOist]

　住友精密工業は2019年6月25日、Collins Aerospaceとの合弁会社Silicon Sensing Systemsが、MEMS用製造工場（クリーンルーム）を拡張すると発表した。2020年8月末までに稼働を開始する予定で、MEMSジャイロセンサーやファンドリ向け薄膜PZT MEMSデバイスの需要増加に対応する。

　現在、同社のMEMS用クリーンルームは、尼崎本社構内に設置されている。今回の計画では、これを同構内の別工場に移設し、現在の2倍以上の生産能力を高める予定だ。MEMS慣性センサーについては最新のウエハー加工・組み立て設備を、ファンドリ向けには8インチウエハーサイズの薄膜PZT MEMSラインを導入する。

　Silicon Sensing Systemsは、MEMSジャイロセンサー・加速度センサーの開発、製造、販売を手掛ける。圧電定数がd31と高く、量産に適したスパッタリング手法による薄膜PZTとプロセス技術は、世界中に供給されている。現在は、MEMSミラー、MEMSインクジェットプリントヘッド、音響MEMS、医療用MEMSなど、さまざまなMEMSデバイスで使用されている。

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