半導体製造装置業界の特許けん制力ランキング2025発表：製造マネジメントニュース

パテント・リザルトは、「半導体製造装置業界 他社けん制力ランキング 2025」を発表した。

[長沢正博，MONOist]

　パテント・リザルトは2026年6月19日、「半導体製造装置業界 他社けん制力ランキング 2025」を発表した。「半導体製造装置業界」の特許を対象に、2025年の特許審査過程において、他社特許への拒絶理由として引用された特許件数を企業別に集計した。

1位は東京エレクトロン、2位はSCREEN、3位はAMAT

　第1位は、東京エレクトロンだった。最も引用された特許は「ヒータ素線の断線前に寿命を予測するため、昇温期間中の電力最大値と振幅和を測定し、閾値超過で警報を発する装置」に関する技術となっている。島津製作所やオムロンなどの計5件の審査過程で引用されている。

　その他、「金属含有レジストからのエッジビード領域の金属残留物を低減する方法」に関する技術が引用された件数の多い特許として挙げられ、サムスンSDIなどの計4件の拒絶理由として引用されている。

　2025年に、東京エレクトロンの特許による影響を受けた企業としてはアプライド・マテリアルズ（AMAT）、SCREENホールディングス、LAM RESEARCHなどが挙げられる。

　第2位は、SCREENホールディングスだった。最も引用された特許は「基板の面内エッチングの均一性を向上する基板処理装置」に関する技術で、東京エレクトロンなどの計3件の審査過程で引用されている。

　その他、「環状部材からガラス基板へトナー画像を転写する際の放電を抑制する転写装置」に関する技術が引用された件数の多い特許として挙げられ、POSCO（KR）の計3件の拒絶理由として引用されている。

　2025年に、SCREENホールディングスの特許による影響を受けた企業としては東京エレクトロン、ディスコ、次いでキヤノンなどが挙げられる。

　第3位は、アプライド・マテリアルズだった。最も引用された特許は、「磁気浮上を利用して半導体基板を処理チャンバ間で効率的に移送できる基板移送システム」に関する技術で、東京エレクトロンの計6件の審査過程において拒絶理由として引用されている。

　2025年に、AMATの特許による影響を受けた企業としては東京エレクトロン、LAM RESEARCH、日本特殊陶業などが挙げられる。

　第4位のディスコは「ウエーハの研磨方法及び研磨装置」、第5位のアルバックは「窒化ガリウム薄膜の製造方法」が、最も引用された特許として挙げられている。

「半導体製造装置業界 他社けん制力ランキング2025」 出所：パテント・リザルト

　「半導体製造装置業界 他社けん制力ランキング2025」は特許庁に特許出願され、2025年12月までに公開された全特許のうち、2025年1月〜12月末の期間に拒絶理由（拒絶理由通知または拒絶査定）として引用された特許を対象に、抽出／集計をしている。

　同ランキングでは、権利移転を反映した集計を行っている。2026年5月時点で権利を保有している企業の名義でランキングしているため、出願時と企業名が異なる可能性がある。なお各企業の業種については、総務省の日本標準産業分類などを参考に分類している。

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