日本トムソン(IKO)は、低断面リニアモーターテーブル「ナノリニアNT…V」シリーズに、高分解能0.01μmと高速移動を両立し、原点復帰動作が不要なアブソリュートリニアエンコーダー仕様を新たに追加した。
日本トムソン(IKO)は2025年12月1日、低断面リニアモーターテーブル「ナノリニアNT…V」シリーズに、アブソリュートリニアエンコーダー仕様を追加し、販売を開始した。
ナノリニアNT…Vは、同社の小形直動案内機器「リニアウェイL」をテーブル案内部に採用した、低断面のコンパクトなリニアモーターテーブルだ。可動テーブルとベッドの間に組み込んだACリニアサーボモーターと内蔵のリニアエンコーダーにより、高精度な位置決めができる。また、清浄度が極めて高い場所でも運用できるよう、ケーブルが可動しないムービングマグネット方式を採用している。
新しいアブソリュートリニアエンコーダー仕様は、高速シリアル通信を使用して位置を計測するため、分解能0.01μmの高精度を維持しつつ高速移動を両立する。位置情報をデジタルデータとして獲得することから、従来のインクリメンタルリニアエンコーダーと比較して耐ノイズ性にも優れる。さらに、リニアスケール上の絶対位置情報を読み取るため、電源再投入時の原点復帰、磁極位置検出動作が不要だ。
対応ドライバに日立産機システムの「AD7」シリーズを採用することで、静定時間が短縮し、制御性も向上した。半導体および液晶関連装置や組み立て機など高精度な位置決めが求められる用途への採用拡大を見込む。
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