　芝浦メカトロニクスとPhoto electron Soulは2025年8月28日、Photo electron Soulが開発する「半導体フォトカソード型電子ビーム生成システム」の量産、メンテナンスに関する資本業務提携について合意したと発表した。なお、提携対象となる具体的な装置名などは非開示となっている。

微細化と積層化の進展で高精度な検査が必要に、電子ビーム方式に期待

Photo electron Soulの半導体ウエハー検査装置出所：Photo electron Soul

　半導体デバイスの欠陥や構造などの検査、解析は、迅速な歩留まり向上のために必要不可欠となっている。検査には、光学方式と電子ビーム方式がある中で、半導体デバイスの微細化と積層化の進展に伴い、電子ビーム方式へのニーズが高まっている。光学方式ではnm単位の微細な欠陥や構造の検出や解析が難しいからだ。　

　Photo electron Soulによれば、同社は工業用途の電子ビーム生成源としては約半世紀ぶりの新方式となる半導体フォトカソード型電子ビーム生成システムの唯一の供給企業という。半導体フォトカソード型電子ビーム生成システムは、ビーム軸はそのままで瞬時に強弱を制御して電子ビームを検査、解析対象に照射でき、非破壊による高アスペクト比構造の底部の欠陥や構造、非接触による微笑トランジスタの電気的特性の検査、解析が可能になる。半導体デバイスメーカーや装置メーカーからの引き合いが増加しており、量産体制の強化が必要になっていた。

　芝浦エレクトロニクスでは、半導体製造装置やFPD（フラットパネルディスプレイ）製造装置、真空応用装置などを製造している。事業ポートフォリオの軸を半導体分野とし、半導体前工程／後工程装置、特に先端向け装置の開発、製造、販売ならびに保守サービス事業のさらなる拡大を目指している。

　今回、量産供給体制の強化を図るPhoto electron Soulと、半導体製造装置に関する技術、知見を持つ芝浦メカトロニクスの事業シナジーが見込まれることなどから、Photo electron Soulは芝浦メカトロニクスから出資を受け、両社は製造およびメンテナンスにおいて協業することになった。

　資本提携に関しては、Photo electron Soulが新たに調達を予定している10億円の一部を芝浦メカトロニクスが引き受ける。業務提携の具体的な方法、内容は今後協議を進めるとしている。

⇒その他の「FAニュース」の記事はこちら

キヤノン露光装置新工場は部品搬送を徹底自動化したスマートファクトリーに
キヤノンは宇都宮事業所内に建設した半導体製造装置の新工場の開所式を行った。
半導体製造装置向けの旺盛な受託生産需要など対応、ベトナムで生産体制強化
日新電機は、ベトナムにおける生産能力向上に向けて事業体制を強化したと発表した。
2nmプロセスGAAトランジスタの試作ウエハーで動作を確認
Rapidusは、北海道千歳市にある最先端ファウンドリ「IIM-1」で、2nm GAAトランジスタの試作ウエハーで動作を確認したと発表した。これは、同社が掲げる2027年の量産開始に向けた重要なマイルストーンとなる。
最先端プロセス対応の半導体計測装置、最大6倍の高速化を実現
リガクは、半導体製造におけるウエハー表面の微量汚染分析に対応した、全反射蛍光X線（TXRF）分析装置「XHEMIS TX-3000」の販売を開始した。
半導体アドバンスドパッケージ向けステッパ露光装置、ウシオ電機が2026年度発売へ
ウシオ電機は、半導体アドバンスドパッケージ向けの新型ステッパ露光装置「UX-59113」の開発を完了し、2026年度中に発売する。解像度1.5μmで100mm角以上の露光フィールドを1ショットでできる。
ラピダス、ニコン、キヤノン……半導体関連FAニュースまとめ
MONOistに掲載した主要な記事を、読みやすいPDF形式の電子ブックレットに再編集した「エンジニア電子ブックレット」。今回は、2024年12月～2025年7月に掲載された「半導体関連FAニュースまとめ」をお送りします。