　Episode 2は、ウエハーを2枚同時に搬送するプラットフォームで、高い生産性と省フットプリントを両立している。2枚のウエハーを同時に成膜するEpisode 2 DMR（Duo matched reactor）は、「Triase^＋」「EX-II」シリーズを継承しつつ、デバイスの3次元化や高アスペクト比に対応するさまざまな新機能を搭載する。

枚葉成膜装置「Episode 2 DMR」出所：東京エレクトロン

　Episode 2 QMR（Quad matched reactor）は、4枚のウエハーを同時に成膜可能。独自のプラズマ源を搭載し、今後、市場の成長が見込まれるプラズマ成膜プロセスに対応する。

枚葉成膜装置「Episode 2 QMR」出所：東京エレクトロン

　いずれも装置データ収集力やエッジ情報処理システムを強化しており、解析アプリケーションなどを利用することで、装置の稼働率や作業効率の改善につながる。なおEpisode 2 QMRは、2026年の量産採用を想定してリリースする計画だ。

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