第6／第8世代基板対応、有機ELバックプレーンのブラックPDL形成工程向け装置：FAニュース

SCREENファインテックソリューションズは、有機ELバックプレーンのブラックPDL形成工程向け塗布現像装置「SK-B」シリーズを開発した。第6および第8世代基板に対応する2機種の販売を開始する。

» 2024年07月11日 13時00分 公開
[MONOist]

　SCREENファインテックソリューションズは2024年6月25日、有機ELバックプレーンのブラックPDL（BPDL）形成工程向け塗布現像装置「SK-B」シリーズ2機種を発表した。有機ELディスプレイ製造装置群「E」シリーズの新たなラインアップに追加する。

キャプション BPDL形成工程向け塗布現像装置「SK-B」シリーズ［クリックで拡大］ 出所：SCREENファインテックソリューションズ

　第6世代基板（1500×1850mm）に対応する「SK-B1500G」と、第8世代基板（2200×2500mm、2250×2600mm、2290×2620mm）に対応する「SK-B2200G」の2機種となる。基本スペックは従来のEシリーズを継承しながら、ディスプレイの画素を区切るバンク材の中でも、より反射防止効果の高いBPDLに特化した専用装置になっている。

　新開発のBPDL専用スリット式塗布装置「レビコータ」や、BPDLに特化した塗布ノズル洗浄機構、現像処理装置など、量産において良品率を向上し、安定化を図るための機能を備える。

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