　同社で実績のある、高輝度フィラメント（Lab6チップ）を採用。レンズ設計や高圧電源部を見直して電子線のドリフトを防ぐことで、60kVと150kV出力において分解能0.5μmを達成した。これにより、X線が透過しにくく微細な内部構造のもの、X線が透過しやすいものが同居している対象物に対し、高精細かつ高コントラストな観察ができる。

0402セラミックコンデンサーの内部構造を解析出所：マーストーケンソリューション

　標準機能として、幾何学倍率200倍まで拡大可能な実装基板やシステムLSIなどに対応した傾斜CT機能を搭載。また、オプションで10mm以下の試料の高精細な3次元CT像を取得できる直交CTユニットや、はんだが溶ける様子を2D動画で記録できる加熱装置などを提供する。

セラミックコンデンサーの基板接合状態を検査出所：マーストーケンソリューション

　主な用途として、半導体や電子部品の内部構造の解析、多層基板の配線パターンの解析、高密度コネクターやMEMS（微小電気機械システム）の狭ピッチ配線パターンや内部接触の検査などに対応する。

　同社は同装置のほか、専任オペレーターが撮像し、3次元CTデータを提供する受託撮像サービスも用意している。

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