デュアルレーンを採用しただけではなく、合わせて搭載部品の吸着エリアと搭載エリアを近づけるなどのレイアウトの見直しや、主軸動作制御の最適化、コンベヤーの剛性アップと補正機能のレベルアップなど、基本性能を向上。2ヘッドクラスで世界最速レベル(最適条件時)12万CPH(Chip Per Hour)生産性と、±15μm(Cpk≧1.0)の高精度搭載を実現している。
ヤマハ発動機が目指す「理論値生産」への道
MONOist、EE Times Japan、EDN Japan、スマートジャパンの、アイティメディアにおける産業向けメディアは2021年12月8〜9日、オンラインでセミナー「MONOist IoT Forum 2021 Digital Live」を開催した。本稿では特別講演に登壇した、ヤマハ発動機 設備技術部 部長の茨木康充氏による「ヤマハ発動機の考える『人』が主役のスマートファクトリ」と題した特別講演の内容を紹介する。
ナノスケールのちりの影響を抑制、半導体製造装置が目指すIoT活用
「SEMICON Japan 2016」のIoTイノベーションフォーラムで登壇した東京エレクトロン執行役員の西垣寿彦氏は、半導体製造における“ちり”の管理と、IoTを使った生産性向上の取り組みについて紹介した。
72台の装置を半日で稼働、日本発「ミニマルファブ」が変える革新型モノづくり
産総研コンソーシアム ファブシステム研究会などは「SEMICON Japan 2016」で、「ミニマルファブの開発成果を発表。同研究会などが推進するミニマル生産方式による製造装置「ミニマルシリーズ」72台を設置し、半導体製造工程のほとんどをカバーできるようになった成果をアピールした。