　CKDは2018年3月16日、圧縮空気や窒素などの流量計測ができる小型の流量センサー「ラピフローFSM3」シリーズを発売した。標準価格は、ボディーが樹脂製のものが1万4690～7万110円、ステンレス製が5万7020～12万9550円（いずれも税別）。同社では、2018年度に3億円、2020年度には10億円の販売を計画している。

　同シリーズは、生産工程で使用するガスの流量を計測するセンサー。PLCやPC、タッチパネルを使って遠隔で流量の監視ができるIO-Link通信に対応。パラメータデータやイベントデータを伝送して遠隔で設定変更できるようになった。

　同センサー1台で、空気、窒素、アルゴン、二酸化炭素、混合ガス（アルゴン＋二酸化炭素）の5種に対応し、本体のボタン操作だけでガスの種類を切り替えられる。

　用途は、電子部品の吸着搬送や半導体製造装置の窒素流量管理、食品製造装置の酸化を防止する窒素充てん量管理などを想定している。それらの現場において使用する装置のクリーン度を保つため、同シリーズでは、発塵防止包装（P70）やグリスを使用しない禁油仕様（P80）が用意されている。

　流路部本体の材質は樹脂とステンレスから選択でき、ステンレスボディーには酸素専用タイプもある。流量レンジは樹脂ボティが0.5～1000リットル／分、ステンレスボディーは0.5～200リットル／分だ。外観形状として、液晶表示一体タイプ、表示分離タイプ、IO-Linkモデルがラインアップされている。

　オプションのワンタッチ継手やねじ込み継手（どちらもストレートとエルボを用意）、気体の双方向計測、液晶表示の180度回転などにより、設計の自由度が高まる。また、海外向けのネジや継手、単位切り替えにも対応する。

出典：CKD

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