　富士フイルムは2026年9月7日、加圧開始から終了までの圧力のかかり具合をリアルタイムで可視化する動的面圧センサーシステム「プレスケールモーション」を発売した。専用のフィルムとコントローラーからなる面圧センサーと、アプリ「プレスケールモバイル」を導入したモバイル端末を連携させて使用するシステムだ。

動的な圧力データを可視化する仕組み［クリックで拡大］出所：富士フイルム

　プレスケールモーションは、加圧過程の圧力変化をリアルタイムに可視化し、併せて動的圧力データを取得できる。最大加圧時の状態を測定する圧力測定フィルム「プレスケール」とプレスケールモバイルで得られる静的圧力データとを組み合わせることで、圧力を静的、動的両方の観点から定量的に評価できる。

　専用フィルムに設定されたキャリブレーションファイルをアプリへダウンロードすることで、事前作業なしで検査を開始。センサーとモバイル端末はBluetooth Low Energy（BLE）による無線接続に対応する。フィルムは0.2mm以下の厚みで、80×80mmと200×200mmの2種類をそろえ、推奨対応圧は0.5～2.5MPaだ。コントローラーの周波数は約30Hzで、1024点の計測ポイントに対応する。

　同システムにより、半導体ウエハー研磨時の接触状態の推移や、リチウムイオン電池の充放電に伴う膨張および収縮時の圧力変化を把握できるようになる。不具合の原因分析や工程条件の最適化に加え、歩留まり改善やメンテナンス効率の向上に貢献する。

図1：発色した「プレスケール」を読み取り、最大加圧時の圧力値や圧力分布といった静的圧力データを可視化。図2：面圧センサーで取得した加圧開始～終了までの圧力のかかり具合をリアルタイムに可視化。図3：1で取得した最大加圧時の静的圧力データと、2で取得した加圧過程の動的圧力データを組み合わせて評価［クリックで拡大］出所：富士フイルム

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