【クイズ】極低温絶縁膜エッチング技術第3世代の最大と最小のCD値の差は?クイズで学ぶ! モノづくりトレンド(1/2 ページ)

MONOistの記事からクイズを出題! モノづくり業界の知識を楽しく増やしていきましょう。

» 2024年09月05日 05時30分 公開
[遠藤和宏MONOist]
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※この記事は、2024年9月5日発行の「モノづくり総合版メルマガ」に掲載された「クイズで学ぶ! モノづくりトレンド」の転載です。

問題

 米国カリフォルニア州に本社を構えるラムリサーチの日本法人は、神奈川県内で記者会見を開き、極低温絶縁膜エッチング技術の第3世代である「Lam Cryo(ラムクライオ) 3.0」を開発したと発表しました。Lam Cryo 3.0によるホール加工は、従来品と比べてメモリホールの垂直性を1.6倍に向上できます。では、設計で設定された寸法との誤差を表すCD値の最大と最小の差はいくつでしょうか?

選択肢

  1. 7nm
  2. 8nm
  3. 9nm
「Vantex Cシリーズ」に搭載されたLam Cryo 3.0のパフォーマンスの比較[クリックで拡大] 出所:ラムリサーチ

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