エイシングは、レーザー光源の個体差に対応した寿命予測アプリのα版「レーザー光源寿命予測AIアプリケーションver1.0.0」をリリースした。
エイシングは2024年8月15日、レーザー光源の個体差に対応した寿命予測アプリのα版「レーザー光源寿命予測AIアプリケーションver1.0.0」のリリースを発表した。
同アプリケーションは、半導体製造装置内のレーザー光源寿命を予測するニーズに応えるために開発した。半導体製造装置に限らず、各種装置に搭載されている位置決め用レーザーにも展開できる。寿命が一目で分かる表示機能、1種類の時系列データでの予測機能を有し、装置内のPC(IPC)にインストールして即利用できる。
従来は線形回帰による推定方法を用いていたが、予測精度が低く予期せぬブレークダウンが発生するという課題があった。同アプリケーションでは、独自アルゴリズムを用いて、光源の個体差に応じた寿命予測でより理想的なCBM(condition based maintenance)を可能にした。
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.