　出火確認時から20分後の17時頃には防火区画Aゾーンが全て検出限界だった40℃以上に達していることから、同ゾーンにおいて急激に火勢が増したと想定される。4階クリーンルーム1ベイ付近のドローン調査から、クリーンルーム気流制御用のパーテーションが原形を留めていないほど焼失しており、クリーンルーム上部に取り付けられているFFU（Fan Filter Unit）およびHEPA（High Efficiency Particulate Air）フィルターがグレーチング床面に脱落している。

1ベイメンテナンスエリアの推定発災装置付近被害状況［クリックで拡大］出所：旭化成

　調査の結果、パーテーションやHEPAフィルター、洗浄機およびIPA薬液などの可燃物がクリーンルーム内に存在し、これらは基本的には難燃性を持つものの、熱源が近くに存在する場合は燃焼するため、これらが延焼の要因となったことが推定された。

FAB棟4階クリーンルームの焼損状況と可燃物設置場所［クリックで拡大］出所：旭化成

　また短時間で温度が上昇した要因として、クリーンルーム内の気流循環が推定要因として挙げられる。1時間当たりのクリーンルーム内の空気循環回数は、約56回で、1時間あたりの外気入れ替わり回数は、約4回である。FAB棟4階クリーンルームで採用されている全面ダウンフロー方式や、パーテーションで気流を制御するようなスルーザウォール方式のようなクリーン化方式では、火災などが発生した場合に熱風が短時間で循環し、逃げにくい密閉空間となりやすい。その結果、防火区画内で温度上昇が急速に発生し、IPAへの引火や、HEPAフィルターおよびパーテーションへの延焼を引き起こしたと考えられる。