　THKは「SEMICON Japan 2014」（2014年12月3～5日、東京ビッグサイト）で、長期メンテナンスフリーのボールリテーナ入りLM（リニアモーション）ガイドや高速・高加減速度・ロングストロークを実現した電動アクチュエータなどの新製品を展示。さらに、直線運動と回転運動が独立制御可能なマルチモーションアクチュエータや日本初公開となるリニアモータアクチュエータロングストロークデモ機など、付加価値の高い製品群を披露した。

　ボールリテーナ入りLMガイドSPR／SPS形はLMガイドに8条列を採用し、静圧案内に匹敵する低ウェービング性・超高剛性を実現したボールリテーナ入りLMガイド。8条の転動溝・小型ボールの採用により、有効ボール数が大幅に増加するとともに、転動体の出入りによる振幅を最小限に抑制するなど静圧案内に匹敵する低ウェービング性が特徴となる。またボールの変形量を極小化し、ローラーガイドをしのぐ超高剛性を実現している。

SEMICON JapanのTHKブース

　電動アクチュエータコンパクトシリーズKSFはボールねじ軸の大径化・大リード化による最高速度1500mm/s、加減速度最大2G、最大1300mmのロングストローク設計となっている。ボールねじ軸の大径化により、同等サイズの従来品に比べ、定格出力の大きいモータ-も使用可能になった。また、THKの専用ドライバコントローラと組み合わせることで、簡単に設定ができる。

　同クリーンシリーズCKRFはサイドカバーと上面のストリップシールにより、フルカバー構造を実現したコンパクトシリーズKRFの低発塵仕様となっている。新機構のフルカバー構造により、ストリップシール上面から発塵しにくくなっており、吸引継手による吸引によりISO14644-1クラス4（FED209Eクラス10相当）を達成した。

　同リニアモータシリーズCCRは直線運動と回転運動を独立して制御することが可能なマルチモーションアクチュエータ。位置検出システムを内蔵したコンパクトな設計により、装置の小型化・高タクト化を実現する。

　精密ステージシリーズのA／AXは精密研削された断面高さの低いLMガイドSRを使用し、多重高速構造による高精度案内が得られる。従来の専用サドルを使用したXYの組み合わせでなく1軸ステージの組み合わせでストロークが自由に選択できる。同シリーズのCHXは予圧型フレキシブル平面軸受の採用と同一平面上に駆動モジュールを3カ所配置したことにより、超薄型アライメントステージを実現。

　その他、あらゆる方向の荷重に対応可能な、回転精度が高いローラーベアリングのクロスローラーリングシリーズなども出展した。同製品は円筒ころが直交配列されているため、あらゆる方向からの荷重に対応することができる。