純度100％オゾン応用プロセス事業を子会社化、常温成膜装置を販売：製造マネジメントニュース

明電舎は、純度100％オゾン応用プロセス事業を子会社化し、「明電ナノプロセス・イノベーション株式会社」を新たに設立した。2020年4月1日より新製品「ALD/OER成膜装置」を販売する。

[MONOist]

　明電舎は2020年4月1日、純度100％のオゾン（ピュアオゾン）応用プロセス事業を子会社化し、「明電ナノプロセス・イノベーション株式会社」を設立した。本社は東京都品川区大崎で、資本金は明電舎100％出資の4億円だ。また、同日より新製品「ALD/OER成膜装置」を販売する。

「ALD/OER成膜装置」の外観イメージ 出典：明電舎

　明電舎では、これまでピュアオゾンを使用した常温成膜技術の研究開発を行ってきた。今回の子会社化は、迅速な意思決定を行うことで、機動力を高めるのが狙いだ。また、子会社化によるイノベーションを起こしやすい環境で、事業化を成功させたロールモデルにもしたいという狙いもある。

　ALD/OER成膜装置は、ピュアオゾン発生装置と成膜処理チャンバーを組み合わせたもの。成膜する基板上にシャワーヘッドでトリメチルアルミニウムガス、エチレンガス、ピュアオゾンガスを交互に供給して酸化アルミニウムを成膜していく。混合する金属原料ガスを変えることで膜組成を変更できる。

　ピュアオゾンを使うことでプラズマによる成膜と比較して、常温環境でも膜中の不純物含有量が少なくなり、最小ダメージで高品質の金属酸化膜が成膜できる。半導体市場のほか、飲料用ペットボトルのフィルムや自動車軽量化向けの部品製造などに向いている。

成膜プロセス図（クリックで拡大） 出典：明電舎